[发明专利]用以接合衬底的装置及方法

权利要求书

1.一种用以将第一衬底(3)和第二衬底(8)在衬底的接触表面(3k、8k)上接合的方法，其具有以下步骤：

-在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上接纳所述第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳所述第二衬底(8)，

-在接合起始位点(20)上接触所述接触表面(3k、8k)，

-沿着自所述接合起始位点(20)行进至所述第一和第二衬底的侧边缘(3s、8s)的接合波将所述第一衬底(3)与所述第二衬底(8)接合，

其特征在于：

调整所述接纳表面的曲率半径，其中通过衬底的点状接触，所述接合波径向对称地行进。

2.如权利要求1的方法，其中取决于对所述接合波的行进的给定影响因素来实现所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形。

3.如权利要求1的方法，其中所述接合起始位点(20)布置在所述接触表面(3k、8k)的中心。

4.如权利要求1-3中任一项的方法，其中在侧向方向上实现所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形。

5.如权利要求1-3中任一项的方法，其中经由所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的膨胀或压缩或弯曲来实现所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形。

6.如权利要求1-3中任一项的方法，其中所述第一和第二衬底)的直径(d1、d2)彼此偏离小于5 mm。

7.如权利要求1-3中任一项的方法，其中经由机械致动构件和/或经由所述第一和/或第二接纳设备(1、4)的温度控制来实现所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形。

8.如权利要求1-3中任一项的方法，其中将所述第一衬底(3)仅在所述第一衬底(3)的侧边缘(3s)的区域中固定于所述第一接纳表面(2o)上，和/或将所述第二衬底(8)仅在所述第二衬底(8)的侧边缘(8s)的区域中固定于所述第二接纳表面(2o')上。

9.一种用以将第一衬底(3)与第二衬底(8)在衬底的接触表面(3k、8k)上接合的装置，其具有：

用以在第一接纳表面(2o)上接纳所述第一衬底(3)的第一接纳设备(1)及用以在第二接纳表面(2o')上接纳所述第二衬底(8)的第二接纳设备(4)，

用以在接合起始位点(20)上接触所述接触表面(3k、8k)的接触构件，

用以沿着自所述接合起始位点(20)行进至所述第一和第二衬底的侧边缘(3s、8s)的接合波将所述第一衬底(3)与所述第二衬底(8)接合的构件，

其特征在于：

所述接纳表面的曲率半径能被调整，其中通过衬底的点状接触，所述接合波径向对称地行进。

10.如权利要求9的装置，所述装置包括使所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)变形以在所述接合之前和/或在接合期间使所述接触表面(3k、8k)在所述接合起始位点(20)外对准的变形构件，其中所述变形构件包含第一接纳设备(1)，所述第一接纳设备(1)能在侧向方向上在所述第一接纳表面(2o)上变形。

11.如权利要求9的装置，所述装置包括使所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)变形以在所述接合之前和/或在接合期间使所述接触表面(3k、8k)在所述接合起始位点(20)外对准的变形构件，其中所述变形构件包含第二接纳设备(4)，所述第二接纳设备(4)能在所述第二接纳表面(2o')上在侧向方向上变形和/或可凸形或凹形地变形。