[发明专利]用以接合衬底的装置及方法

权利要求书

1.一种用以将第一衬底(3)和第二衬底(8)在衬底(3、8)的接触表面(3k、8k)上接合的方法，其具有以下步骤：

-在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上接纳所述第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳所述第二衬底(8)，

-在接合起始位点(20)上接触所述接触表面(3k、8k)，

-沿着自所述接合起始位点(20)行进至所述衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将所述第一衬底(3)与所述第二衬底(8)接合，

其特征在于：

间接地通过在其中完成接合的氛围中的气体的成分和/或密度和/或温度来控制所述接合波，以及

所述第一衬底(3)和所述第二衬底(8)的直径(D1,D2)彼此偏离小于5mm。

2.如权利要求1的方法，其中选择具有轻的原子类型的气体。

3.如权利要求1的方法，其中所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形取决于对于所述接合波的行进的给定影响因素来实现。

4.如权利要求1的方法，其中所述接合起始位点(20)布置在所述接触表面(3k、8k)的中心。

5.如权利要求1-4中任一项的方法，其中所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形在侧向方向上实现。

6.如权利要求1-4中任一项的方法，其中所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形经由所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的膨胀或压缩或弯曲而实现。

7.如权利要求1-4中任一项的方法，其中所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)的变形经由机械致动构件和/或经由所述第一和/或第二接纳设备(1、4)的温度控制而发生。

8.如权利要求1-4中任一项的方法，其中将所述第一衬底(3)仅在所述第一衬底(3)的侧边缘(3s)的区域中固定于所述第一接纳表面(2o)上，和/或将所述第二衬底(8)仅在所述第二衬底(8)的侧边缘(8s)的区域中固定于所述第二接纳表面(2o')上。

9.一种用以将第一衬底(3)与第二衬底(8)在衬底(3、8)的接触表面(3k、8k)上接合的装置，其具有：

用以在第一接纳表面(2o)上接纳所述第一衬底(3)的第一接纳设备(1)及用以在第二接纳表面(2o')上接纳所述第二衬底(8)的第二接纳设备(4)，

用以在接合起始位点(20)上接触所述接触表面(3k、8k)的接触构件，

用以沿着自所述接合起始位点(20)行进至所述衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将所述第一衬底(3)与所述第二衬底(8)接合的构件，

其特征在于：

所述接合波间接地通过在其中完成接合的氛围中的气体的成分和/或密度和/或温度来控制，以及

所述第一衬底(3)和所述第二衬底(8)的直径(D1,D2)彼此偏离小于5mm。

10.如权利要求9的装置，其中选择具有轻的原子类型的气体。

11.如权利要求9的装置，其中使所述第一衬底(3)变形的构件包含第一接纳设备(1)，所述第一接纳设备(1)能在侧向方向上在所述第一接纳表面(2o)上变形。

12.如权利要求9的装置，其中使所述第二衬底(8)变形的构件包含第二接纳设备(4)，所述第二接纳设备(4)能在所述第二接纳表面(2o')上在侧向方向上变形和/或可凸形或凹形地变形。

13.如权利要求9至12中任一项的装置，其中使所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)变形的构件具有机械致动构件和/或用于所述第一和/或第二接纳设备(1、4)的温度控制的温度控制构件。

14.如权利要求9至12中任一项的装置，其中用以固定所述第一衬底(3)的固定构件仅在所述第一衬底(3)的侧边缘(3s)的区域中布置在所述第一接纳表面(2o)上，和/或用以固定所述第二衬底(8)的固定构件仅在所述第二衬底(8)的侧边缘(8s)的区域中布置在所述第二接纳表面(2o')上。