[发明专利]液晶面板的制造方法在审
| 申请号： | 201811177098.2 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109656034A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 谷池康司郎 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;B08B11/04;B08B3/04;B08B3/02;B08B3/12 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;习冬梅 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干式清洗 玻璃基板 液晶面板 湿式清洗 处理槽 制造 薄膜形成 成膜性 | ||
【权利要求书】：
1.一种液晶面板的制造方法，其特征在于，具备：
第一干式清洗工序，对液晶面板用的玻璃基板进行干式清洗；
湿式清洗工序，在上述第一干式清洗工序之后执行，对上述玻璃基板进行湿式清洗；以及
第二干式清洗工序，在上述湿式清洗工序之后执行，对上述玻璃基板进行干式清洗。
2.根据权利要求1所述的液晶面板的制造方法，
上述干式清洗是使用了大气压等离子体或准分子紫外线的清洗。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的液晶面板的制造方法，
具备取向膜形成工序，在上述第二干式清洗工序之后执行，在上述玻璃基板的表面形成取向膜。
4.根据权利要求3所述的液晶面板的制造方法，
上述取向膜形成工序在上述第二干式清洗工序结束后600秒以内执行。
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