[发明专利]一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液及制备方法在审

专利信息
申请号: 201811178442.X 申请日: 2018-10-10
公开(公告)号: CN109136887A 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 张毅;张新学;刘龙平 申请(专利权)人: 深圳市互连微电子材料有限公司
主分类号: C23C18/18 分类号: C23C18/18;C23C18/32
代理公司: 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人: 王仲凯
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 离子钯活化液 金属铜表面 化学镀镍 精细线路 渗镀 制备 表面活性剂 活化液配方 去离子水 活化液 加速剂 络合剂 浓度计 无机酸 钯盐 申请 改进
【权利要求书】:

1.一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液,其特征在于,以浓度计,包括:

2.根据权利要求1所述的活化液,其特征在于,所述钯盐为使用螯合剂制得的新型螯合钯盐。

3.根据权利要求2所述的活化液,其特征在于,所述螯合剂包括乙二胺、甲基吡啶、氨基吡啶、氨基乙酸、氨基磺酸、苹果酸、三乙醇胺、醋酸、EDTA、乳酸、氨基水杨酸、二乙烯三胺、三乙烯四胺、柠檬酸三铵、磺基水杨酸中的一个或多个。

4.根据权利要求1所述的活化液,其特征在于,所述钯盐包括硫酸四氨合钯、二氯四氨合钯、硝酸四氨合钯、醋酸四氨合钯中的一个或多个。

5.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述无机酸为硫酸、盐酸、磷酸中一种或者多种。

6.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述表面活性剂为羧酸盐类氟碳表面活性剂、磺酸盐类氟碳表面活性剂、磷酸盐类氟碳表面活性剂、季铵盐类氟碳表面活性剂、非离子氟系表面活性剂中的一种或多种。

7.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述络合剂为氨基乙酸、甲基吡啶、吡啶甲醇、氨基吡啶、苹果酸、羟基乙酸、柠檬酸一种或者多种。

8.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述加速剂为铜离子。

9.一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液的制备方法,其特征在于,包括:

将无机酸、表面活性剂、络合剂、钯盐依次加入去离子水中,最后加入加速剂,混合得到活化液;

以浓度计,所述活化液包括:

以使得在25-40℃的条件下,将经过除油、微蚀的铜件或覆铜件在所述活化液中浸渍3-20min。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述钯盐为使用螯合剂制得的新型螯合钯盐,具体制得过程包括:

溶解钯盐,然后加热到60-70摄氏度解离钯盐,解离时间大于3小时,让部分钯盐解离为特殊结构的钯盐;

加入螯合剂,在60-70摄氏度下进行螯合,形成新型螯合钯盐。

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