[发明专利]一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液及制备方法在审
申请号: | 201811178442.X | 申请日: | 2018-10-10 |
公开(公告)号: | CN109136887A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 张毅;张新学;刘龙平 | 申请(专利权)人: | 深圳市互连微电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C18/18 | 分类号: | C23C18/18;C23C18/32 |
代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 王仲凯 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子钯活化液 金属铜表面 化学镀镍 精细线路 渗镀 制备 表面活性剂 活化液配方 去离子水 活化液 加速剂 络合剂 浓度计 无机酸 钯盐 申请 改进 | ||
1.一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液,其特征在于,以浓度计,包括:
2.根据权利要求1所述的活化液,其特征在于,所述钯盐为使用螯合剂制得的新型螯合钯盐。
3.根据权利要求2所述的活化液,其特征在于,所述螯合剂包括乙二胺、甲基吡啶、氨基吡啶、氨基乙酸、氨基磺酸、苹果酸、三乙醇胺、醋酸、EDTA、乳酸、氨基水杨酸、二乙烯三胺、三乙烯四胺、柠檬酸三铵、磺基水杨酸中的一个或多个。
4.根据权利要求1所述的活化液,其特征在于,所述钯盐包括硫酸四氨合钯、二氯四氨合钯、硝酸四氨合钯、醋酸四氨合钯中的一个或多个。
5.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述无机酸为硫酸、盐酸、磷酸中一种或者多种。
6.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述表面活性剂为羧酸盐类氟碳表面活性剂、磺酸盐类氟碳表面活性剂、磷酸盐类氟碳表面活性剂、季铵盐类氟碳表面活性剂、非离子氟系表面活性剂中的一种或多种。
7.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述络合剂为氨基乙酸、甲基吡啶、吡啶甲醇、氨基吡啶、苹果酸、羟基乙酸、柠檬酸一种或者多种。
8.根据权利要求1至4任一项所述的活化液,其特征在于,所述加速剂为铜离子。
9.一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液的制备方法,其特征在于,包括:
将无机酸、表面活性剂、络合剂、钯盐依次加入去离子水中,最后加入加速剂,混合得到活化液;
以浓度计,所述活化液包括:
以使得在25-40℃的条件下,将经过除油、微蚀的铜件或覆铜件在所述活化液中浸渍3-20min。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述钯盐为使用螯合剂制得的新型螯合钯盐,具体制得过程包括:
溶解钯盐,然后加热到60-70摄氏度解离钯盐,解离时间大于3小时,让部分钯盐解离为特殊结构的钯盐;
加入螯合剂,在60-70摄氏度下进行螯合,形成新型螯合钯盐。
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C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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