[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于包括：

激光光源，输出加工用激光；

检查用光源，输出波长与所述加工用激光不同的检查用激光；

光波导，供所述加工用激光及所述检查用激光从入射面入射，且使所述加工用激光及所述检查用激光从出射面向加工对象物出射；以及

检测器，检测所述检查用激光经所述加工对象物反射并从所述光波导的所述出射面入射且从所述入射面出射的返回光。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：还包括光路变更单元，所述光路变更单元是配置在所述检查用光源与所述光波导的所述入射面之间，变更所述返回光的光路，

从所述光波导的所述入射面出射的所述返回光通过所述光路变更单元变更光路而入射至所述检测器。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于：所述光路变更单元是使用所述加工用激光的波长的光透过，且所述检查用激光及所述返回光的波长的光的一部分反射且一部分透过的光学元件来构成。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于：所述光学元件为一对分色镜。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：所述检测器在检测出所述返回光的情况下，使从所述激光光源的所述加工用激光的输出停止。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：还包括耦合透镜，所述耦合透镜将所述加工用激光及所述检查用激光与所述光波导耦合，

检测透过所述耦合透镜后的所述返回光。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：还包括多个输入侧准直透镜，所述输入侧准直透镜使刚从所述激光光源输出后的所述加工用激光及刚从所述检查用光源输出后的所述检查用激光分别准直。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：还包括输出侧准直透镜，所述输出侧准直透镜使从所述光波导的所述出射面出射的所述加工用激光及所述检查用激光准直。