[发明专利]焊料过滤装置

说明书

一种焊料过滤装置，包括：过滤部，所述过滤部包括至少一个过滤单元，所述过滤单元包括固定件及网筛，所述固定件表面具有贯穿所述固定件厚度的腔体，所述网筛设置于所述腔体内；收集部，所述收集部位于所述过滤部的底部，所述收集部的顶部表面具有容纳槽。利用所述焊料过滤装置，能够方便快捷的实现焊料的净化，且净化效果良好。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种焊料过滤装置。

背景技术

溅射镀膜属于物理气相沉积方法制备薄膜的工艺之一，具体是指利用高能粒子轰击靶材表面，使得靶材原子或分子获得足够的能量逸出，并沉积在基材或工件表面，从而形成薄膜。

由于背板具有良好的导电导热性能，且还可以起到固定支撑作用，因此，靶材在镀膜前需与背板焊接在一起，而后共同装配至溅射基台。

在对靶材及背板进行焊接的工艺中，需要在靶材表面及背板表面涂覆焊料，并利用超声波对靶材表面及背板表面进行浸润处理，然后将靶材放置于背板上，待焊料冷却后，即可完成靶材及背板的焊接。

在上述焊接工艺过程中，在浸润处理及将靶材放置于背板上时，往往有多余的焊料从靶材表面及背板表面溢出，并滴落至进行焊接工艺的工作台上。为节省成本，需要对工作台上的焊料进行回收，以用于下一次的焊接工艺中。

但是，滴落至工作台上的焊料内含有杂质，直接回收所述焊料并投入使用会影响焊接效果。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种焊料过滤装置，能够方便快捷的实现焊料的净化，且净化效果良好。

为解决上述问题，本发明提供一种焊料过滤装置，包括：过滤部，所述过滤部包括至少一个过滤单元，所述过滤单元包括固定件及网筛，所述固定件表面具有贯穿所述固定件厚度的腔体，所述网筛设置于所述腔体内；收集部，所述收集部位于所述过滤部的底部，所述收集部的顶部表面具有容纳槽。

可选的，所述焊料过滤装置还包括：冷却部，所述冷却部位于所述收集部的底部，所述冷却部的顶部表面具有凹槽。

可选的，所述凹槽侧壁表面具有贯穿所述凹槽侧壁的通孔，所述通孔的数量为两个，分别位于所述凹槽的两侧。

可选的，所述过滤单元的数量为多个，多个所述过滤单元相叠放。

可选的，多个所述过滤单元的所述网筛的孔径大小不同。

可选的，由所述过滤部的顶部至底部，所述过滤单元的所述网筛的孔径大小逐渐减小。

可选的，所述过滤单元的数量为三个，由所述过滤部的顶部至底部，依次为第一过滤单元、第二过滤单元及第三过滤单元。

可选的，所述第一过滤单元的孔径大小为1.5mm，所述第二过滤单元的孔径大小为1mm，所述第三过滤单元的孔径大小为0.5mm。

可选的，所述网筛位于所述固定件的底部。

可选的，所述焊料过滤装置为铟焊料过滤装置。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明提供的焊料过滤装置的技术方案中，所述焊料过滤装置包括过滤部及收集部，所述过滤部包括至少一个过滤单元，所述过滤单元包括固定件及网筛，所述固定件表面具有贯穿所述固定件厚度的腔体，所述网筛设置于所述腔体内。将焊料倒入所述固定件的腔体内，利用所述网筛可过滤掉所述焊料中的杂质。所述收集部位于所述过滤部的底部，用于收集经所述网筛过滤后的焊料，过滤后的焊料流入位于所述收集部的顶部表面的容纳槽。利用所述焊料过滤装置，能够方便快捷的实现焊料的净化，且净化效果良好。