[发明专利]紫外固化装置

说明书

一种紫外固化装置，包括：壳体；多个紫外发光二极管，所述多个紫外发光二极管沿所述壳体的长度方向布置；以及至少一个遮光器部分，所述至少一个遮光器部分在所述长度方向上是可移动的并联接到所述壳体，以覆盖所述多个紫外发光二极管的至少一部分，进而限制由所述多个紫外发光二极管发射的紫外光的照射区域。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年11月8日在韩国知识产权局提交的题为“UltravioletCuring Apparatus”(紫外固化装置)的韩国专利申请No.10-2017-0147875的优先权，其公开内容通过引用整体合并于此。

技术领域

实施例涉及一种紫外(UV)固化装置。

背景技术

纳米压印光刻技术用于形成尺寸不断增大的显示器件所需的精细大面积的图案。在纳米压印光刻技术中，在将可光固化树脂涂覆在基板上之后，对其照射紫外光，同时将具有与精细图案相对应的凹凸图案的印模压在可光固化树脂上，以固化可光固化树脂，然后印模与可光固化树脂分开，从而形成精细图案。

发明内容

根据一个方面，一种紫外固化装置包括：壳体；多个紫外发光二极管，所述多个紫外发光二极管沿所述壳体的长度方向布置；以及至少一个遮光器部分，所述至少一个遮光器部分在所述长度方向是可移动的并联接到所述壳体，以覆盖所述多个紫外发光二极管的至少一部分，进而限制由所述多个紫外发光二极管发射的紫外光的照射区域。

根据一个方面，一种紫外固化装置包括：壳体，所述壳体具有沿长度方向形成的第一表面；多个紫外发光二极管，所述多个紫外发光二极管沿所述长度方向被布置在所述壳体的所述第一表面上；控制器，所述控制器选择性地控制所述多个紫外发光二极管的通/断操作，以调整由所述多个紫外发光二极管发射的紫外光的照射区域；驱动单元，所述驱动单元由所述控制器控制；以及至少一个遮光器部件，所述至少一个遮光器部件覆盖所述第一表面的至少一部分，以提供紫外光被阻挡的区域，所述至少一个遮光器部件通过所述驱动单元可沿所述长度方向移动。

根据一个方面，一种紫外固化装置包括：细长壳体，所述细长壳体被定位在平台的上方，以支撑压印模具；多个紫外发光二极管，所述多个紫外发光二极管沿所述细长壳体的长度方向布置在所述细长壳体中，以将紫外光照射在所述平台上；至少一个遮光器部件，所述至少一个遮光器部件沿所述长度方向可移动地联接到所述细长壳体，以阻挡所述多个紫外发光二极管与所述平台之间的空间；驱动单元，所述驱动单元被设置在所述细长壳体上，以沿所述长度方向移动所述至少一个遮光器部件；以及控制器，所述控制器选择性地控制所述多个紫外发光二极管的通/断操作，以调整由所述多个紫外发光二极管发射的紫外光的照射区域，并且通过控制所述驱动单元来控制其中所述至少一个遮光器部件阻挡所述照射区域的区域。

附图说明

通过参照附图详细描述示例性实施例，各特征对于本领域普通技术人员而言将变得显而易见，其中：

图1例示了应用根据示例性实施例的紫外固化装置的压印设备的示意性截面图；

图2例示了通过图1的紫外固化装置从压印模具上方照射紫外光的处理的俯视图；

图3例示了根据示例实施例的紫外固化装置的透视图；

图4例示了说明图3的紫外固化装置将紫外光照射在压印模具上的截面图；

图5例示了图4的区域A的放大视图；

图6例示了图5的遮光器部件的变型示例；

图7例示了图6的遮光器部件的透视图；以及

图8例示了图7的遮光器部件的变型示例。

具体实施方式

在下文中，将参照附图描述示例实施例。