[发明专利]一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置有效

专利信息
申请号: 201811188722.9 申请日: 2018-10-12
公开(公告)号: CN109321970B 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 方志兰 申请(专利权)人: 温州崎芳新能源有限公司
主分类号: C30B27/02 分类号: C30B27/02
代理公司: 杭州研基专利代理事务所(普通合伙) 33389 代理人: 祁文鹏
地址: 325036 浙江省温州市瓯*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 晶片 生长 用氩气 缓冲 装置
【说明书】:

发明涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置,所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置,生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置,氩气缓冲装置包括氩气管,生长炉侧壁的上端设有通孔,通孔内连接有氩气管,氩气管为弧形结构,氩气管的出口处安装有缓冲垫,缓冲垫上均匀设有出气孔,氩气管外侧壁的上端安装有连接箱,氩气管的上端面安装有连接杆。本发明可以解决阀门控制氩气充入量时,氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题,可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能,具有对氩气进行缓冲,减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。

技术领域

本发明涉及电子元器件领域,特别涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置。

背景技术

发光二极管简称为LED,LED五大原物料包括晶片、支架、银胶、金线和环氧树脂,因其具有能效低、适用性强、稳定性好、使用寿命长和价格低的优点,LED被广泛应用于LED显示屏、交通信号灯、液晶屏背光源和照明光源等领域,其中用于生产LED的晶片要求很高,需要对晶片进行再处理,其中有一个重要的工序长晶,直径影响到晶片质量的好坏,在进行长晶工艺时有很多注意事项。

氩气是一种惰性保护气体,无色无毒无味,在长晶的过程中会用到氩气,在对长晶炉内充入氩气时如果流量过大引起晶棒的晃动会影响到晶片质量的好坏,而在现有长晶生产设备中,大多都是通过阀门控制氩气的充入量,而氩气罐内的气压会随着氩气量的减少发生变化,因此这种方法很不稳定。

发明内容

为了解决上述问题,本发明提供了一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,可以解决阀门控制氩气充入量时,氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题,可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能,具有对氩气进行缓冲,减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。

为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案,一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置,所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置,生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置。

所述的氩气缓冲装置包括氩气管,生长炉侧壁的上端设有通孔,通孔内连接有氩气管,氩气管为弧形结构,氩气管的出口处安装有缓冲垫,缓冲垫上均匀设有出气孔,氩气管外侧壁的上端安装有连接箱,氩气管的上端面安装有连接杆,连接杆在其周向方向均匀分布,连接杆的上端面安装有氩气连接管,连接杆上安装有控量机构,连接箱的上端面安装有倾斜防护板,倾斜防护板的上端与氩气连接管侧壁的上端连接,氩气连接管内侧壁的上下端均安装有连接板,连接板之间安装有固定杆,固定杆侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板,缓冲板为不规则迷宫型,工作时,氩气从氩气连接管的上端进入到氩气连接管中,氩气在氩气连接管内流动时会带动缓冲板转动,缓冲板为不规则迷宫型,从而可以减弱氩气进入时的流速,氩气进过缓冲板后再经过控量机构的作用进入到氩气管中,再经过缓冲垫的作用,进入到生长炉内,经过缓冲板、控量机构和缓冲垫的作用,已经大大减弱了氩气的流速同时也能够控制氩气进入生长炉内的量。

作为本发明的一种优选技术方案,所述的控量机构包括转动齿盘,氩气管外侧壁的顶端套接有转动齿盘,转动齿盘的左端啮合有转动齿轮,转动齿轮的下端面与转动电机的输出轴相连接,转动电机通过电机座安装在连接箱内侧壁上,转动齿盘内侧与氩气管外侧壁之间连接有滑动杆,转动齿盘的下端面连接有转动球,转动球安装在承托板的上端面,承托板安装在氩气管的外侧壁上,转动齿盘的上端面安装有第一转动杆,第一转动杆沿其周向方向均匀分布,第一转动杆侧壁通过轴承安装有转动板,转动板的另一端通过轴承安装在第二转动杆上,第二转动杆的下端安装有挡板,挡板的右端通过轴承安装在连接杆的侧壁上,挡板形状为花瓣形,工作时,转动电机通过转动齿轮带动转动齿盘转动,可以带动转动齿盘上的第一转动杆转动,第一转动杆通过转动板带动第二转动杆转动,可以带动挡板转动,挡板为花瓣型,因而挡板转动时氩气通过控量机构的空间会变大,从而达到控制氩气充入量的目的。

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