[发明专利]一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法有效
| 申请号： | 201811190334.4 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109143437B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 相连钦;祝晓勇 | 申请（专利权）人： | 宁波源禄光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机械 切削 离子束 刻蚀 制备 光栅 方法 | ||
1.一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤一、机械切削出具有高密度刻线并具有小闪耀角的原刻衍射光栅，原刻衍射光栅作为母板衍射光栅，用于复制子板衍射光栅；
步骤二、确定用于复制子板衍射光栅的镀膜材料及膜层厚度；确定离子束在子板衍射光栅表面的入射角，使复制衍射光栅的刻槽槽底圆弧部分得以清除，具有小闪耀角的刻槽轮廓面最宽化；
步骤三、对机械切削的原刻衍射光栅进行子板衍射光栅复制，并在复制子板衍射光栅过程中镀膜，用于离子束刻蚀加工；
步骤四、子板衍射光栅在离子束入射角情况下，进行离子束刻蚀加工，使得复制衍射光栅的刻槽槽底圆弧部分得以清除
所述步骤一中，闪耀角小于8°；
所述步骤一中，原刻衍射光栅的刻槽槽型是呈三角形。
2.根据权利要求1所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述步骤一中，在恒温下，采用刀尖半径优选0.5um～1.5um圆弧形金刚石切削刀进行精密机床机械切削。
3.根据权利要求1所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述步骤一中，高密度刻线优选为500～600线/mm。
4.根据权利要求1所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述步骤一中，原刻衍射光栅的基底为金属镍或不锈钢。
5.根据权利要求1所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述步骤一中，机械切削原刻衍射光栅的表面面型为曲面或平面。
6.根据权利要求1所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述步骤二中，镀膜材料为金属膜Al或介质膜GaAs，膜层厚度为0.35～0.5um。
7.根据权利要求1所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述步骤二中，入射角φ优选为52～62°。
8.根据权利要求1所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述步骤三中，离子束是惰性气体的离子，所述惰性气体的离子包括He、Ar或Kr。
9.根据权利要求8所述的一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：所述惰性气体的离子中加入CCl2F2或O2气体，进行反应式离子刻蚀。
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