[发明专利]物料传输系统以及物料传输方法有效
申请号: | 201811191183.4 | 申请日: | 2018-10-12 |
公开(公告)号: | CN109300830B | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 吴功;冯迪 | 申请(专利权)人: | 上海大族富创得科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 谢绪宁;薛赟 |
地址: | 201112 上海市闵行区万*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 物料 传输 系统 以及 方法 | ||
1.一种物料传输系统,其特征在于,采用一自动运输装置(700),其具有至少一机械手,且所述自动运输装置(700)能够自由地沿着任意方向任意路径运动;所述自动运输装置(700)通过所述机械手取放至少一个物料盒(706);
所述自动运输装置(700)具有:自动运输台(704),用于承载整个自动运输装置(700)并且实现所述自动运输装置(700)的任意方向和任意路径的移动;
所述自动运输装置(700)还包括:多个机械手臂(701),分别执行旋转和升降动作,来实现对抓手(702)的定位;
至少一抓手(702),安装于其中的至少一个机械手臂(701)上,并且随着机械手臂(701)的移动来运动;
所述自动运输装置(700)拾取并传输物料的过程中,所述自动运输台(704)来到目标位置;所述多个机械手臂(701)通过第一次旋转和升降动作调整抓手(702)的位置,使得抓手(702)对准待取物料盒(706);
然后,所述多个机械手臂(701)中的一些机械手臂通过第一次整体下降动作来拾取物料盒(706),并且再通过第二次旋转和升降动作来调整抓手(702)的位置,使得抓手(702)对准待放置物料盒(706)的位置;
接着,所述多个机械手臂(701)的一些机械手臂通过第二次整体下降动作来使得抓手(702)放置物料盒(706);
最后,所述多个机械手臂(701)通过第三次旋转和升降动作调整抓手(702)位置,使得抓手(702)恢复到原始位置;
目标位置包括物料存储装置(00),物料存储装置(00)具有多个存储容纳腔以及可移动存储架(01),这些存储容纳腔包括:第一存储容纳腔(Q1)、第二存储容纳腔(Q2)、以及第三存储容纳腔(Q3),第一存储容纳腔(Q1)呈矩阵排列设置于物料存储装置(00)中,第二存储容纳腔(Q2)是设置于可移动存储架(01)中的,设置第二存储容纳腔(Q2)小于第一存储容纳腔(Q1),第三存储容纳腔(Q3)用于传输或接收工艺设备传输来的物料盒(706);
对应于第三存储容纳腔(Q3)的物料存储装置(00)侧壁具有感应门,第三存储容纳腔(Q3)底部还设置有底部传感器,底部传感器用于探测第三存储容纳腔(Q3)中是否具有物料盒(706),并且把探测结果反馈给控制器,控制器根据反馈结果来控制感应门开启或关闭;
在第三存储容纳腔(Q3)下方的物料存储装置(00)侧壁还设置有侧壁传感器,侧壁传感器用于探测多臂自动运输装置(700)是否在第三存储容纳腔(Q3)的外部,根据探测结果,控制器来控制感应门是否开启或关闭。
2.根据权利要求1所述的物料传输系统,其特征在于,所述自动运输装置(700)还包括:至少一载物台(703),用于承载至少一个物料盒(706)。
3.根据权利要求2所述的物料传输系统,其特征在于,所述载物台(703)为多个,在竖直方向上多个载物台(703)呈上下排布。
4.根据权利要求1所述的物料传输系统,其特征在于,所述抓手(702)还能够根据物料盒(706)的大小来调整张开口径,从而准确的抓取物料盒(706)。
5.根据权利要求4所述的物料传输系统,其特征在于,所述抓手(702)具有驱动马达和多个可移动夹片(7021);驱动马达驱动可移动夹片(7021)之间的距离产生变化,从而使得可移动夹片(7021)相适应的调整夹持距离。
6.根据权利要求1所述的物料传输系统,其特征在于,所述多个机械手臂(701)之间通过多轴独立运动来实现所有的旋转动作、和/或升降动作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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