[发明专利]磁性随机存储器

权利要求书

1.一种磁性随机存储器，其特征在于，所述磁性随机存储器包括：

衬底(10)；

多个驱动器组(20)，各所述驱动器组(20)位于所述衬底(10)的表面上，多个所述驱动器组(20)沿远离所述衬底(10)的方向依次设置，各所述驱动器组(20)包括一个或者多个沿第一方向间隔设置的驱动器(200)，一个所述驱动器组(20)中的各所述驱动器(200)的中心与所述衬底(10)的距离相同，各所述驱动器组(20)中的至少一个所述驱动器(200)在所述衬底(10)上的投影与相邻的所述驱动器组(20)中的至少一个所述驱动器(200)在所述衬底(10)表面的投影有重叠，多个所述驱动器组(20)中，与所述衬底(10)之间距离最大的所述驱动器组(20)为顶层驱动器组，所述第一方向与所述衬底(10)的厚度方向垂直；

多个沿所述第一方向间隔设置的MTJ位元(60)，位于所述顶层驱动器组的远离所述衬底(10)的一侧，一个或者多个所述MTJ位元(60)与一个或者多个所述驱动器(200)对应电连接；

各所述MTJ位元(60)在所述衬底(10)表面上的投影位于对应电连接的所述驱动器(200)在所述衬底(10)表面上的投影的内部，各所述MTJ位元(60)位于包括依次叠置设置的底电极、自由磁性层、绝缘层、固定磁性层以及顶电极。

2.根据权利要求1所述的磁性随机存储器，其特征在于，各所述驱动器组(20)包括多个相同的所述驱动器(200)，各所述驱动器组(20)中的所述驱动器(200)在所述衬底(10)上的投影与相邻的所述驱动器组(20)中的所述驱动器(200)在所述衬底(10)上的投影一一对应有重叠，所述驱动器(200)与所述MTJ位元(60)一一对应地电连接，且在所述衬底(10)上的投影一一对应有重叠的两个所述驱动器(200)对应电连接的两个所述MTJ位元(60)相邻。

3.根据权利要求2所述的磁性随机存储器，其特征在于，所述各所述驱动器组(20)中的所述驱动器(200)在所述衬底(10)上的投影与相邻的所述驱动器组(20)中的所述驱动器(200)在所述衬底(10)上的投影一一对应重合。

4.根据权利要求1所述的磁性随机存储器，其特征在于，所述磁性随机存储器还包括多个隔离介质层(30)，各所述隔离介质层(30)设置在所述衬底(10)的表面上，且多个所述隔离介质层(30)沿着远离所述衬底(10)的方向依次叠置设置，各所述驱动器组(20)位于至少一个所述隔离介质层(30)中，多个MTJ位元(60)至少位于一个所述隔离介质层(30)中。

5.根据权利要求4所述的磁性随机存储器，其特征在于，所述磁性随机存储器还包括多个通孔组(40)，各所述通孔组(40)包括至少一个通孔，至少两个所述通孔组(40)中的所述通孔的高度不同，各所述通孔位于所述隔离介质层(30)中，多个所述通孔组(40)中的至少部分与所述驱动器组(20)一一对应，与所述驱动器组(20)对应的一个所述通孔组(40)中的所述通孔用于电连接一个所述MTJ位元(60)和一个所述驱动器组(20)中的一个所述驱动器(200)。

6.根据权利要求5所述的磁性随机存储器，其特征在于，所述磁性随机存储器包括至少一个驱动互连组(50)，所述驱动互连组(50)位于所述隔离介质层(30)中，所述驱动互连组(50)包括多个沿所述第一方向间隔设置的驱动互连金属部(500)，至少有一个所述驱动互连组(50)中的所述驱动互连金属部(500)用于一一对应地电连接所述通孔和所述驱动器(200)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的磁性随机存储器，其特征在于，所述驱动器组(20)有两个，分别为第一驱动器组(21)和第二驱动器组(22)，所述第一驱动器组(21)位于所述衬底(10)的表面上，所述第二驱动器组(22)位于所述第一驱动器组(21)的远离所述衬底(10)的一侧，所述第一驱动器组(21)包括多个第一驱动器(210)，所述第二驱动器组(22)包括多个第二驱动器(220)。