[发明专利]包括保护装置的管状靶材

权利要求书

1.一种用于阴极雾化的管状靶材(1)，其不具有背衬管并且由钼或钼含量至少为50at.％的钼合金制成，所述管状靶材包括溅射表面(2)以及至少在某些区域中与冷却介质接触的内表面(3)，特征在于，所述内表面(3)中至少一个区域通过至少一个保护装置(4)与所述冷却介质隔开，其中所述保护装置包括至少一种聚合物并且是粘附在所述内表面(3)上的单层或多层的涂层。

2.根据权利要求1所述的管状靶材(1)，特征在于，所述保护装置(4)与所述内表面(3)处于区域性接触。

3.根据权利要求1所述的管状靶材(1)，特征在于，所述保护装置(4)的厚度为0.0005mm至1mm。

4.根据权利要求3所述的管状靶材(1)，特征在于，所述保护装置(4)的厚度为0.0005mm至0.1mm。

5.根据权利要求1所述的管状靶材(1)，特征在于，与所述冷却介质接触的全部所述内表面通过至少一个保护装置(4)与所述冷却介质隔开。

6.根据权利要求1所述的管状靶材(1)，特征在于，所述聚合物是导热的和/或导电的。

7.根据权利要求1所述的管状靶材(1)，特征在于，所述聚合物具有一种填料。

8.根据权利要求7所述的管状靶材(1)，特征在于，所述填料包括由陶瓷、石墨和金属组成的群组中的至少一种材料。

9.根据权利要求7所述的管状靶材(1)，特征在于，所述填料包括陶瓷。

10.根据权利要求1所述的管状靶材(1)，特征在于，所述保护装置(4)由至少一种聚合物组成。

11.根据权利要求10所述的管状靶材(1)，特征在于，所述聚合物是由以下项组成的群组中的一种聚合物：环氧树脂、聚乙烯、聚丙烯、聚亚安酯、聚氯乙烯、聚酯、乙烯基酯以及含氟弹性体。

12.根据权利要求1至11中任意一项所述的管状靶材(1)，特征在于，通过湿式涂布、涂装或喷涂引入所述保护装置。

13.根据权利要求1至11中任意一项所述的管状靶材(1)，特征在于，通过背浇铸引入所述保护装置。

14.一种用于生产根据权利要求1至14中任意一项所述的管状靶材(1)的方法，特征在于，所述保护装置(4)是通过由以下项组成的群组中的工艺而被引入的：湿式涂布、涂装、背浇铸或喷涂。