[发明专利]内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811193805.7 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109346921A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 廖晨 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/34;H01S5/187 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 量子点 硫化银 高反镜 垂直腔面发射激光器 量子态 简并 制备 垂直腔面发射 二氧化硅薄膜 无机二氧化硅 二氧化硅层 高品质因子 点激光器 红外量子 环境友好 近红外光 膨胀系数 石英基板 向上设置 铅盐 兼容 替代 | ||
1.一种内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：包括依次向上设置的石英基板(2)、下高反镜、内含硫化银量子点的二氧化硅层(5)和上高反镜。
2.根据权利要求1所述的内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述内含硫化银量子点的二氧化硅层(5)由二氧化硅膜和嵌入该二氧化硅膜中的硫化银量子点(1)组成。
3.根据权利要求2所述的内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述硫化银量子点(1)在二氧化硅膜中均匀分布。
4.根据权利要求1所述的内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述硫化银量子点(1)作为光增益介质。
5.根据权利要求1所述的内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述下高反镜为分布式布拉格反射镜，由7个二氧化钛层(3)和6个二氧化硅层(4)交替叠加构成，二氧化钛层(3)和二氧化硅层(4)的光学厚度均为下高反镜的反射中心波长的1/4。
6.根据权利要求1或5所述的内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述下高反镜的反射率大于99.5％。
7.根据权利要求1所述的内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述上高反镜为分布式布拉格反射镜，由6个二氧化钛层(3)和5个二氧化硅层(4)交替叠加构成，二氧化钛层(3)和二氧化硅层(4)的光学厚度均为上高反镜的反射中心波长的1/4。
8.根据权利要求1或7所述的内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述上高反镜的反射率小于99％。
9.一种内含硫化银量子点的垂直腔面发射激光器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)利用高温热分解法制备硫化银量子点；
(2)利用电子束热蒸发法在石英基板上交替沉积7个二氧化钛层和6个二氧化硅层来获得下高反镜；
(3)将步骤(1)得到的硫化银量子点分散于甲苯中，再将硫化银量子点的甲苯分散液与全氢聚硅氮烷混合，然后旋涂到下高反镜上来获得内含硫化银量子点的二氧化硅层；
(4)利用射频磁控溅射法在内含量子点的二氧化硅层上交替沉积6个二氧化钛层和5个二氧化硅层来获得上高反镜。
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