[发明专利]内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器及其制备方法

权利要求书

1.一种内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：包括依次向上设置的石英基板(3)、下高反镜、内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的二氧化硅层(6)和上高反镜。

2.根据权利要求1所述的内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的二氧化硅层(6)由二氧化硅膜和嵌入该二氧化硅膜中的碲化银/碲化银锌核壳量子点组成。

3.根据权利要求2所述的内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述碲化银/碲化银锌核壳量子点在二氧化硅膜中均匀分布。

4.根据权利要求2所述的内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述碲化银/碲化银锌核壳量子点由碲化银量子点(1)以及包覆在该碲化银量子点(1)表面的碲化银锌合金壳(2)组成。

5.根据权利要求4所述的内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述碲化银锌合金壳(2)的锌元素含量从内到外逐渐增加。

6.根据权利要求1所述的内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述碲化银/碲化银锌核壳量子点作为光增益介质。

7.根据权利要求1所述的内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述下高反镜为分布式布拉格反射镜，由7个二氧化钛层(4)和6个二氧化硅层(5)交替叠加构成，二氧化钛层(4)和二氧化硅层(5)的光学厚度均为下高反镜的反射中心波长的1/4；所述下高反镜的反射率大于99.5％。

8.根据权利要求1所述的内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述上高反镜为分布式布拉格反射镜，由6个二氧化钛层(4)和5个二氧化硅层(5)交替叠加构成，二氧化钛层(4)和二氧化硅层(5)的光学厚度均为上高反镜的反射中心波长的1/4；所述上高反镜的反射率小于99％。

9.一种内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的垂直腔面发射激光器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)利用高温热分解法制备碲化银量子点；

(2)利用连续离子层吸附反应法，通过逐渐减小银离子前躯体的注入速度同时增加锌离子前躯体的注入速度，在碲化银量子点表面包覆锌元素含量从内到外逐渐增加的碲化银锌合金壳，获得碲化银/碲化银锌核壳量子点；

(3)利用电子束热蒸发法在石英基板上交替沉积7个二氧化钛层和6个二氧化硅层来获得下高反镜；

(4)将步骤(2)得到的碲化银/碲化银锌核壳量子点分散于甲苯中，再将碲化银/碲化银锌核壳量子点的甲苯分散液与全氢聚硅氮烷混合，然后旋涂到下高反镜上来获得内含碲化银/碲化银锌核壳量子点的二氧化硅层；

(5)利用射频磁控溅射法在内含量子点的二氧化硅层上交替沉积6个二氧化钛层和5个二氧化硅层来获得上高反镜。