[发明专利]体声波结构、体声波装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201811194088.X 申请日: 2018-10-15
公开(公告)号: CN110880921B 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 刘慈祥 申请(专利权)人: 立积电子股份有限公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02
代理公司: 上海市锦天城律师事务所 31273 代理人: 刘民选
地址: 中国台湾台北市内湖区*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 声波 结构 装置 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种体声波结构,其特征在于,包括:

单晶压电材料层,具有相对的第一表面与第二表面;

第一电极,设置于所述单晶压电材料层的所述第一表面;

第二电极,设置于所述单晶压电材料层的所述第二表面,其中所述第二电极的面积大于或等于所述单晶压电材料层的所述第二表面的面积,且所述单晶压电材料层与所述第二电极的接触面积等于所述单晶压电材料层的所述第二表面的所述面积;以及

第一声波反射器,设置于所述第一电极的表面

所述体声波结构不包含基板。

2.如权利要求1所述的体声波结构,其特征在于,还包括第二声波反射器,设置于所述第二电极的表面。

3.如权利要求2所述的体声波结构,其特征在于,其中所述第一声波反射器与所述第二声波反射器各自包含交互堆叠的多数个第一次层以及多数个第二次层,所述第一次层与所述第二次层分别为阻抗(Z)不同的材料。

4.如权利要求1所述的体声波结构,其特征在于,其中所述单晶压电材料层的材料包括氮化铝、LiTaO3、LiNbO3、石英或钻石。

5.一种体声波装置,其特征在于,包括:

至少一个如权利要求1~4中任一项所述的体声波结构;

多数个凸块,设置于所述体声波结构之下,并分别电性连接所述体声波结构的所述第一电极与所述第二电极;

承载器,借由所述凸块分别电性连接至所述第一电极与所述第二电极;以及

封装体,位于所述承载器上并包覆所述体声波结构。

6.如权利要求5所述的体声波装置,其特征在于,其中所述体声波结构为多个彼此串接的体声波结构。

7.如权利要求5所述的体声波装置,其特征在于,其中所述承载器与所述体声波结构之间具有间隙。

8.如权利要求7所述的体声波装置,其特征在于,其中所述封装体填满所述间隙。

9.如权利要求7所述的体声波装置,其特征在于,其中所述封装体未填满所述间隙。

10.如权利要求5所述的体声波装置,其特征在于,其中所述承载器包括导线架、基板或印刷电路板。

11.一种体声波结构的制造方法,其特征在于,包括:

提供单晶基板;

于所述单晶基板上形成单晶压电材料层,其中所述单晶压电材料层具有相对的第一表面与第二表面,且所述第二表面与所述单晶基板直接接触;

于所述单晶压电材料层的所述第一表面形成第一电极;

于所述第一电极的表面形成第一声波反射器;

移除所述单晶基板;以及

于所述单晶压电材料层的所述第二表面形成第二电极,其中所述第二电极的面积大于或等于所述单晶压电材料层的所述第二表面的面积,且所述单晶压电材料层与所述第二电极的接触面积等于所述单晶压电材料层的所述第二表面的所述面积。

12.如权利要求11所述的体声波结构的制造方法,其特征在于,其中所述单晶基板与所述单晶压电材料层的蚀刻选择比大于10:1。

13.如权利要求11所述的体声波结构的制造方法,其特征在于,其中所述单晶基板的材料包括氧化锌、碳化硅或硅。

14.如权利要求11所述的体声波结构的制造方法,其特征在于,其中所述单晶压电材料层的材料包括氮化铝、LiTaO3、LiNbO3、石英或钻石。

15.如权利要求11所述的体声波结构的制造方法,其特征在于,其中形成所述第二电极之后,还包括于所述第二电极的表面形成第二声波反射器。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于立积电子股份有限公司,未经立积电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811194088.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top