[发明专利]一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法

说明书

本发明提供了一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法，气体微流量计包括流量计外壳，在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管。进气管的中部设置有电磁阀导气孔，进气管的后部设置有电容导气孔。气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连，出气管的下部与电磁阀导气孔相连，出气管内设置有电磁阀，电磁阀能控制出气管的通闭，待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器，造成气体测量电容器电容值变化。本发明通过气体测量电容器电容值的变化，实现单位时间内微流量气体的流量测量的目的，气体测量电容器感知灵敏，电容值变化速度快，因此微流量气体的流量测量精度非常高且迅速，适用于精密测量。

技术领域

本发明涉及气体流量计领域，具体涉及一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法。

背景技术

气体流量计是计量气体流量的设备，安装在管路中记录流过的气体量，气体流量是工业生产中的一个重要参数。工业生产过程、科学实验以及生活用气等应用场合都涉及到流量计量。高精度气体微流量计主要用于气体微流量的测量，容积值为气体微流量计的主要工作参数之一，决定了气体微流量的测量精度，具有良好的流量计量稳定性，原理清晰，其作为气体计量器具或气体流量标准装置中的流量标准表而得到广泛应用。

当气体流量很微小时，或气体内有杂质时都会造成流量计无计量，计量不准，甚至损坏。而气体流量的测量往往需要一个有限的范围，否则无法满足测量需要，其推广应用受到极大的限制。为适应工业过程控制测量中的特殊需求，节约制造成本和简化管路系统，发明一种宽量程的电容式微量气体流量计，将大大提高气体流量计量的精度和简化管路系统，并且具备多气体可测、多量程可调、高精度测量、压力损失小、可靠性高、安装简单、操作方便等特点，其发明意义重大。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的第一目的是提供了一种高精度气体微流量计，测量精度高。

本发明采用以下的技术方案：

一种高精度气体微流量计，包括流量计外壳，在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管，所述进气管的中部设置有电磁阀导气孔，进气管的后部设置有电容导气孔；

所述气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连，出气管的下部与电磁阀导气孔相连，出气管内设置有电磁阀，电磁阀能控制出气管的通闭；

待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器，造成气体测量电容器电容值变化。

优选地，所述气体测量电容器包括两个平行的金属板，两个平行的金属板之间有间隙，间隙内有电介质；所述电容导气孔连接在处于下位的金属板的中间。

本发明的第二目的是提供了一种高精度气体微流量计的气体流量测量方法。

一种高精度气体微流量计的气体流量测量方法，包括以下步骤：

步骤1：关闭出气管内的电磁阀，待测气体自进气管进入；

步骤2：待测气体自进气管上的电容导气孔进入气体测量电容器，随着待测气体的流入，在气体压强的作用下，气体测量电容器的两个平行的金属板之间的距离减小，造成气体测量电容器电容值的变化，通过测量电容值的变化从而计算出流入气体的体积，进而计算出单位时间的气体流量；

步骤3：测量完毕后，打开电磁阀，气体通过电磁阀导气孔，进入出气管并顺利的排出；

步骤4：反复执行步骤1至3，进行气体流量测量，求取平均值，从而计算出待测气体的单位时间流量。

本发明具有的有益效果是：