[发明专利]一种常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备

权利要求书

1.一种常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，包括高压电极模块、低压电极模块和等离子体电源，其特征在于：所述高压电极模块包括若干个平行布置的表面覆盖绝缘介质的圆柱状金属高压电极（1）；所述低压电极模块包括传送驱动装置、一个平行设置在高压电极下方的金属传送平台（2）和垂直于圆柱状金属高压电极（1）的传送导杆（3），所述传送驱动装置驱动金属传送平台（2）沿传送导杆（3）做直线往复运动；所述金属传送平台（2）设置有接地装置。

2.根据权利要求1所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：所述金属传送平台（2）下方设置有涡旋吸附风机（4），所述金属传送平台（2）表面设有与涡旋吸附风机（4）的吸风口相通的若干通孔（5）。

3.根据权利要求2所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：所述金属传送平台（2）是中空结构。

4.根据权利要求2或3所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：所述金属传送平台（2）的上表面满铺有绝缘介质板。

5.根据权利要求1-3任意一项所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：所述传送驱动装置包括步进电机（6）、设置在金属传送平台（2）下方的同步带（7）以及设置在同步带（7）两端的第一同步带轮（8）和第二同步带轮（9），所述第一同步带轮（8）与步进电机（6）的轴相连。

6.根据权利要求5所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：金属传送平台（2）的往复运动方向的两端设置有前限位传感器（11）、后限位传感器（12）和原点传感器（13）。

7.根据权利要求1所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：还包括可调节圆柱状金属高压电极（1）高度的高度调节器（10）、内冷却风机（14）、外冷却风机（15）和设置在常温常压等离子体平台处理设备上端的集风金属罩（16）；所述集风金属罩（16）设置有开口向下的出风口；所述集风金属罩（16）的出风口与外冷却风机（15）的进风口相连。

8.根据权利要求4所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：所述圆柱状金属高压电极（1）表面覆盖陶瓷、石英或者刚玉介质；所述金属传送平台（2）是铝合金传送平台；所述绝缘介质板是陶瓷板或者石英板。

9.根据权利要求1所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：所述等离子体电源是高频恒流激励电源。

10.根据权利要求7-9任意一项所述的常温常压等离子体板材、膜片材和微小材料处理设备，其特征在于：还包括一个设置在常温常压等离子体平台处理设备正面的用于操作等离子体电源、涡旋吸附风机（4）、步进电机（6）、高度调节器（10）、内冷却风机（14）、外冷却风机（15）的触摸屏控制器。