[发明专利]一种宽光谱探测器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811195765.X 申请日: 2018-10-15
公开(公告)号: CN109360892B 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 于军胜;张晓华;张大勇;韩于 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L51/42 分类号: H01L51/42;H01L51/48
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 蒋秀清;李春芳
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 光谱 探测 器件 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件,其特征在于,从下到上依次为:衬底,ITO阳极,空穴传输层,吸收可见光的钙钛矿活性层,聚合物层,电子传输层和金属阴极;所述聚合物层吸收近红外波段,所述钙钛矿活性层为CH3NH3PbI3钙钛矿结构薄膜,所述聚合物层为PDPPBTT薄膜,所述钙钛矿活性层和聚合物层之间还有超薄修饰层,所述超薄修饰层的材料为双功能双二苯甲酮加合物,所述超薄修饰层的厚度为5-10nm。

2.按照权利要求1所述的一种应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件,其特征在于:构成所述空穴传输层的材料为聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸。

3.按照权利要求1所述的一种应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件,其特征在于:所述钙钛矿活性层的厚度为300-500nm。

4.按照权利要求1所述的一种应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件,其特征在于:所述聚合物层的厚度范围为50-150nm。

5.按照权利要求1所述的一种应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件,其特征在于:所述电子传输层为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉,厚度范围为5-20nm。

6.按照权利要求1所述的一种应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件,其特征在于:所述金属阴极的材料为Ag、Al或Cu中的一种或多种,金属阴极的厚度范围为100-200nm。

7.按照权利要求1所述的一种应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件,其特征在于:所述衬底的材料为玻璃或透明聚合物,所述透明聚合物材料为聚乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚氨基甲酸酯、聚酰亚胺、氯醋树脂或聚丙烯酸的一种或多种。

8.一种按照权利要求1所述的应用高响应度的钙钛矿/聚合物混合薄膜的可见-近红外宽光谱探测器件的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

[1]清洗并干燥衬底及ITO阳极组成的基板;

[2]在经过步骤[1]处理后的ITO阳极的表面制备空穴传输层,并对形成的空穴传输层进行烘烤;

[3]在经过步骤[2]处理后的空穴传输层表面制备钙钛矿光活性层,并进行退火;

[4]在经过步骤[3]处理后的钙钛矿光活性层表面制备超薄修饰层,然后在超薄修饰层表面制备聚合物层;

[5]在经过步骤[4]处理后的聚合物层表面制备电子传输层;

[6]在经过步骤[5]处理后的电子传输层表面制备金属阴极。

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