[发明专利]物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响，并能够高精度地检测作为检测对象的物理量。本发明的物理量传感器具备：基板；第一检测电极，具备第一电极指；第一弹簧，将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿第一方向位移；第二检测电极，具备在所述第一方向上与所述第一电极指隔开间隔而配置的第二电极指；以及第二弹簧，将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第一方向位移，所述第一弹簧的所述第一方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第一方向上的弹簧常数相等。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、惯性测量装置、移动体测位装置、便携式电子设备、电子设备以及移动体。

背景技术

以往以来，作为陀螺传感器(角速度传感器)，公知有专利文献1所记载的结构。该专利文献1所记载的陀螺传感器具有：基板、和固定于基板的元件部。另外，元件部具有：框状的振动部，其能够沿X轴方向振动；可动驱动电极，其设置于振动部的外侧；固定驱动电极，其固定于上述基板，并通过在与上述可动驱动电极之间产生静电引力而使振动部沿X轴方向振动；可动部，其配置于振动部的内侧，并能够相对于振动部沿Y轴方向位移；可动检测电极，其设置于可动部；以及固定检测电极，其固定于基板，并在与可动检测电极之间形成电容。在这样的陀螺传感器中，当在使振动部沿X轴方向振动的状态下施加有绕Z轴的角速度ωz时，由于科里奥利力而使位移部沿Y轴方向位移，从而可动检测电极与固定检测电极之间的电容变化。因此，基于该电容的变化，能够检测绕Z轴的角速度ωz。

专利文献1：日本特开2013-213728号公报

例如，当对这样的陀螺传感器施加Y轴方向的加速度Ay时，由于加速度Ay使可动检测电极沿Y轴方向位移。另一方面，固定检测电极固定于基板，因此即使施加有加速度Ay也不会沿Y轴方向位移。因此，在作为检测对象的绕Z轴的角速度ωz以外的物理量亦即Y轴方向的加速度Ay被施加时，也导致可动检测电极与固定检测电极之间的电容变化，从而导致作为检测对象的绕Z轴的角速度ωz的检测精度降低。

发明内容

本发明的目的在于提供减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响，并能够高精度地检测作为检测对象的物理量的物理量传感器、惯性测量装置、移动体测位装置、便携式电子设备、电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而提出的，能够作为以下的发明来实现。

本发明的物理量传感器的特征在于，具备：基板；第一检测电极，具备第一电极指；第一弹簧，将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿第一方向位移；第二检测电极，具备在所述第一方向上与所述第一电极指隔开间隔而配置的第二电极指；以及第二弹簧，将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第一方向位移，所述第一弹簧的所述第一方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第一方向上的弹簧常数相等。

由此，在施加有第一方向的加速度(检测对象以外的物理量)的情况下，第一检测电极与第二检测电极相等地沿第一方向进行位移，因此第一电极指与第二电极指的间隙实质上也不会变化。因此，可减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响，获得能够高精度地检测作为检测对象的物理量的物理量传感器。

在本发明的物理量传感器中，优选：所述第一弹簧将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿与所述第一方向交叉的第二方向位移，所述第二弹簧将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第二方向位移，所述第一弹簧的所述第二方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第二方向上的弹簧常数相等。

由此，在施加有第二方向的加速度(检测对象以外的物理量)的情况下，第一检测电极与第二检测电极相等地沿第二方向进行位移，因此第一电极指与第二电极指的间隙实质上也不会变化。因此，可减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响，获得能够高精度地检测作为检测对象的物理量的物理量传感器。