[发明专利]液态试剂监测系统及方法

权利要求书

1.一种液态试剂监测系统，其特征在于，包括：

重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；

容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及

报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述重量监测装置包括：

电子磅秤、模数转换器、以及通信线路；

其中，所述电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述容量检测装置包括：容量传感器和通信线路；

其中，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内，所述容量传感器放置于所述蓄液箱底部。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述报警装置包括：

判断模块，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；以及

警告模块，用于在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述判断模块包括：

第一判断单元，用于判断所述重量数据是否小于第一阈值，在所述重量数据小于第一阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件；以及

第二判断单元，用于判断所述容量数据是否小于第二阈值，在所述容量数据小于第二阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第二安全条件。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述警告模块包括：

第一警告单元，用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件时，生成第一警告信息，所述警告信息包括短信提醒信息，语音提醒信息，以及邮件提醒信息。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第一警告单元还用于在生成第一告警信息后的预设时间点，生成第二警告信息。

8.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述警告模块包括：

第二警告单元，用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件和第二安全条件时，生成第三警告信息。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，根据所述第三警告信息禁止所述液态试剂的机台运作。

10.一种液态试剂监测方法，其特征在于，包括：

实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；

实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及

根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；

在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息；

其中，所述液态试剂包括光刻胶。