[发明专利]一种紫膜或黄绿膜镜片的镀膜方法在审
申请号: | 201811202224.5 | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN109234684A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 何彩虹;周海兵;李海飞 | 申请(专利权)人: | 镇江视伟光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212300 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 镜片 镀膜 绿膜 紫膜 透光率 镀膜材料 镀膜工艺 厚度要求 膜层颜色 凸面镀膜 真空镀膜 工艺流程 抽真空 水压 凹面 充气 除霜 紫色 检验 加工 | ||
1.一种紫膜或黄绿膜镜片的镀膜方法,包括以下步骤:
1)确定水温、水压:打开镀膜机总电源,再将冰水机电源打开,确定循环泵、压缩机工作,使水压达到0.2Mpa、水温达到18℃—22℃;
2)抽真空、除霜、充气:真空室温度设定在75~95℃,抽真空30~45分钟后,真空室冷冻机进行自动除霜,除霜时间45s后自动停止,再对真空室进行氩气充填,在真空室的气压与外面的大气压成正压0.1Mpa的时候真空室门自动打开;
3)单面蒸镀膜:把待镀膜的镜片放到镀膜机的真空室内,人工添加镀膜所需的紫膜或黄绿膜材料到四个不同的坩埚内,然后根据每层的镀膜工艺决定对相应的坩埚进行加热蒸镀,镀膜真空室温度设定45~55℃,镀膜时间设定30分钟,盛放镀膜材料的坩埚的温度设定1200℃,对镜片进行紫膜或黄绿膜镀膜;
4)凸面镀完后再将镜片进行翻转,用同样的工艺对凹面进行蒸镀膜;
5)打开镀膜机,取出镜片,检验,即完成镜片的紫膜或黄绿膜镀膜。
2.根据权利要求1所述的一种紫膜或黄绿膜镜片的镀膜方法,其特征在于:所述的步骤3)紫膜镀膜工艺为:紫膜材料为:SiO2、ZrO2、In2O3、Li,镀膜层数为七层:第一层,材料为SiO2、蒸发率20、镀膜厚度2000-2600nm、电流40%;第二层,材料为ZrO2、蒸发率8、镀膜厚度300-330nm、电流45%;第三层,材料为SiO2、蒸发率8、镀膜厚度90-120nm、电流40%;第四层,材料为ZrO2、蒸发率10、镀膜厚度580-1000nm、电流45%;第五层,材料为In2O3、蒸发率2、镀膜厚度:30-50nm、电流12%;第六层,材料为SiO2、蒸发率10、镀膜厚度650-800nm、电流40%;第七层,材料为Li、蒸发率15、镀膜厚度70-110nm、电流12%。
3.根据权利要求1所述的一种紫膜或黄绿膜镜片的镀膜方法,其特征在于:所述的步骤3)黄绿膜镀膜工艺为:紫膜材料为:SiO2、ZrO2、In2O3、Li,共镀膜层数七层:第一层,材料为SiO2、蒸发率20、镀膜厚度1000-2300nm、电流30%;第二层,材料为ZrO2、蒸发率16、镀膜厚度200-330nm、电流45%;第三层,材料为SiO2、蒸发率10、镀膜厚度100-150nm、电流25%;第四层为材料ZrO2、蒸发率10、镀膜厚度500-550nm、电流30%;第五层,材料为In2O3、蒸发率4、镀膜厚度40-50nm、电流10%;第六层为材料SiO2、蒸发率15、镀膜厚度950-1000nm、电流20%;第七层,材料为Li,蒸发率20、镀膜厚度100-110nm、电流:10%。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于镇江视伟光学有限公司,未经镇江视伟光学有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811202224.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种线性蒸发源及真空蒸镀装置
- 下一篇:微波镀膜方法、母板和微波镀膜装置
- 同类专利
- 专利分类