[发明专利]一种基于肖特基势垒的气体光检测器在审
申请号: | 201811202489.5 | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN109239025A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G01N27/12;B82Y15/00 |
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地址: | 528458 广东省中*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 肖特基势垒 气体感应 光检测器 检测器 外接电源 金属层 棱镜 透光 负极电连接 入射光特性 待测气体 气体填充 肖特基结 入射光 正极电 弧面 入射 应用 | ||
1.一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:包括弧面在下方的半圆形透光棱镜(1),所述半圆形透光棱镜(1)的平面上方设置有气体感应层(2),所述气体感应层(2)的上方设置有N型半导体层(3),所述N型半导体层(3)的上方设置有金属层(4),所述金属层(4)与外接电源的正极电连接,所述N型半导体层(3)外接电源的负极电连接。
2.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:所述气体感应层(2)为中部设置有充气腔(5)的金属层。
3.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:所述气体感应层(2)为设置有不规则孔洞的金属层。
4.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:所述气体感应层(2)中孔洞是周期排布。
5.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:所述气体感应层(2)的厚度为10nm~30nm。
6.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:所述气体感应层(2)的厚度为20nm。
7.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:所述N型半导体层(3)为氧化锌制成。
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