[发明专利]一种基于肖特基势垒的气体光检测器在审
| 申请号： | 201811202489.5 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109239025A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N27/12;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528458 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 肖特基势垒 气体感应 光检测器 检测器 外接电源 金属层 棱镜 透光 负极电连接 入射光特性 待测气体 气体填充 肖特基结 入射光 正极电 弧面 入射 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：包括弧面在下方的半圆形透光棱镜（1），所述半圆形透光棱镜（1）的平面上方设置有气体感应层（2），所述气体感应层（2）的上方设置有N型半导体层（3），所述N型半导体层（3）的上方设置有金属层（4），所述金属层（4）与外接电源的正极电连接，所述N型半导体层（3）外接电源的负极电连接。
2.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）为中部设置有充气腔（5）的金属层。
3.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）为设置有不规则孔洞的金属层。
4.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）中孔洞是周期排布。
5.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）的厚度为10nm～30nm。
6.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）的厚度为20nm。
7.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述N型半导体层（3）为氧化锌制成。
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