[发明专利]测试方法及测试系统

说明书

本申请实施例提供一种测试方法及一种测试系统，该方法通过确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔。扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴。基于扫频范围及扫频间隔，确定多个驱动频率。利用基于多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从多个驱动频率中确定使扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率。判断扫频间隔是否满足精度要求。如果是，将目标驱动频率作为扫描振镜任一扫描轴的共振频率。如果否，基于目标驱动频率调整扫频范围以及扫描间隔，并返回基于扫频范围及扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。本申请可获得待测MEMS中扫描振镜慢轴和快轴的共振频率。

技术领域

本申请实施例涉及虚拟现实技术领域，尤其涉一种测试方法及一种测试系统。

背景技术

MEMS(微机电系统，Microelectromechanical Systems)中的扫描振镜是激光扫描投影设备中的关键器件。激光器发射的激光光束需要通过扫描振镜的快速震动将激光光束反射到光幕上的不同位置处，从而实现待扫描图像快速的点扫描最终呈现该待扫描图像。

扫描振镜扫描方式可以分为快轴扫描和慢轴扫描。其中，快轴扫描利用扫描振镜快轴的共振实现水平方向快速扫描，慢轴扫描是利用电磁力或者静电力等外力驱动扫描振镜慢轴实现垂直方向匀速扫描，且扫描振镜快轴的驱动信号需要与扫描振镜快轴的共振频率一致，而扫描振镜慢轴的驱动信号频率需要远离扫描振镜慢轴的共振频率。

但由于现有制作工艺会导致不同的扫描振镜具有不同的共振频率，因此在生产激光扫描投影设备时需要获得准确地扫描振镜慢轴的共振频率和扫描振镜快轴的共振频率，以实现对激光扫描投影设备中电路设计。

发明内容

本申请实施例提供一种测试方法及一种测试系统，用以通过测试获得待测MEMS中扫描振镜慢轴的共振频率和扫描振镜快轴的共振频率。

本申请提供了一种测试方法，包括：

确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔；其中，所述扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴；

基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率；

利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率；

判断所述扫频间隔是否满足精度要求；

如果是，将所述目标驱动频率作为所述扫描振镜任一扫描轴的共振频率；

如果否，基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔，并返回基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。

优选地，所述基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔包括：

减小所述扫频间隔，使调整后的扫描间隔小于调整前的扫描间隔；

基于所述目标驱动频率及所述扫频间隔调整所述扫描范围，获得以所述目标驱动频率为中心，以分别与所述目标驱动频率相差所述扫频间隔的第一频率和第二频率为两端的扫描范围。

优选地，判断所述扫频间隔是否满足精度要求包括：

判断所述扫频间隔是否大于间隔阈值；

如果是，确定所述扫频间隔不满足所述精度要求；

如果否，确定所述扫频间隔满足所述精度要求。

优选地，所述利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率包括：