[发明专利]一种具有高效蒸镀工作装置的OLED蒸镀设备

说明书

本发明涉及一种具有高效蒸镀工作装置的OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，所述蒸镀工作装置具有可前后移动的底座，在底座上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环、装配环、分隔环。本发明利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，整体结构密闭性好，降低污染的泄露。

技术领域

本发明涉及OLED制造的技术领域，尤其是一种具有高效蒸镀工作装置的OLED蒸镀设备。

背景技术

在公知的技术领域，前板段制程是整个OLED工艺中的最重要的环节，具体流程为：对TFT基板进行不同方式的清洗、干燥之后，送入氮气环境中进行降温，并反转基板，使膜面朝下。对于处理后的基板，送入真空室内进行各功能层、发光层的蒸镀。蒸镀之后对AMOLED进行功能性和外观性的检测以及偏光片的贴附，最后进入模组段制程。

在OLED的蒸镀环节中需要用到专用的蒸镀设备，所谓蒸镀，就是真空中通过电流加热，电子束轰击加热或激光加热等加热方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作自由运动，碰撞基片表面而凝结，进而形成薄膜。蒸镀工艺虽然原理并不复杂，但是在实际的量产中存在很多难题需要解决，现有的核心设备蒸镀机主要技术均掌握在日本少数几家公司手中，产能极为有限，主要有如下几个方面的难题：

一、蒸镀源的更换问题：在蒸镀材料消耗殆尽后，需要在从真空腔室中取出进行添加或更换，如何减少更换的频率、有效保证跟换前后真空腔室的空压处理，对提高生产效率、降低停机检修率是极为关键的，同时还容易产生污染的问题，现有的设备一般将真空腔室设计成直接开启、关闭式的设计，更换蒸镀源较为频繁，且真空腔室的抽真空处理耗费时间长，对温度工艺的控制难以精准量化，需要在生产中不断的间歇性反复调试。

二、真空腔室内单次加工OLED面板数量问题：现有的蒸镀设备总体上的思路均是采用将基板水平排布放置的设计，故蒸镀源一般需要置于基板的上方，该种排布方式虽然较为成熟，但是该种方式需考虑到工艺参数控制的稳定性，不可能大面积将数量众多的基板至于同一真空腔室内，故单次加工数量少，占用空间大，对抽真空设备的要求高，而且随着加工基板尺寸的增加，蒸镀加热装置的结构排布更为复杂，工艺参数的稳定性更难以控制。

三、蒸镀工艺参数的稳定性：传统的蒸镀设备一般是通过蒸镀材料分子的自由运动去吸附基板，在蒸镀环节能够控制的参数基本上只有对温度以及加热源的排布，所以工艺稳定性一直不高，从而导致良品率较差的问题，实际量产的解决方式只能是不断的调试最佳的参数，提高镀膜的均匀程度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服上述问题，提供一种具有高效蒸镀工作装置的OLED蒸镀设备，能够使得蒸镀设备的结构排布紧凑、加工效率高、便于控制工艺参数，同时提升量产的良品率和镀膜的均匀程度。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有高效蒸镀工作装置的OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，

所述蒸镀工作装置具有可前后移动的底座，在所述底座上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环、装配环、分隔环，以所述分隔环的中心轴线为中心、在其前端面上旋转设有若干个等腰梯形间隔块，且所述等腰梯形间隔块较小一头朝向中心轴线方向，在相邻的两个等腰梯形间隔块之间均设有蒸镀源安装滑轨，每个蒸镀源安装滑轨的一端嵌入于相邻的两个等腰梯形间隔块之间，另一端贯穿装配环并与限位密封环固定连接，且相邻的两个蒸镀源安装滑轨之间构成安装腔室，在每个安装腔室内均设有电磁加热装置，在所述蒸镀源安装滑轨上均设有沿轴向延展的滑槽，在滑槽内安装有蒸镀源装置，在所述限位密封环的中心处设有由油缸驱动的密封端盖，所述蒸镀源装置均与密封端盖的内侧表面连接。