[发明专利]一种用于单晶炉的观察窗在审

专利信息
申请号: 201811204596.1 申请日: 2018-10-16
公开(公告)号: CN109252223A 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 袁驰 申请(专利权)人: 徐州华奥纺织有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 南京中高专利代理有限公司 32333 代理人: 吕波
地址: 221600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 安装框架 观察窗 维修板 安装架 连接槽 单晶炉炉体 观察窗体 安装槽 单晶炉 导向孔 定位柱 侧壁 螺母 密封橡胶垫 安装维修 转动连接 匹配 穿过 制造
【说明书】:

发明涉及一种用于单晶炉的观察窗,包括安装框架、维修板、观察窗安装架和观察窗体,所述的安装框架安装在单晶炉炉体上,所述的单晶炉炉体上设置有定位柱,所述的安装框架的四个各开设有一个导向孔,所述的定位柱穿过导向孔并通过螺母对安装框架进行固定,所述的安装框架上开设有用于安装维修板的连接槽,所述的维修板的一端转动连接在连接槽内的一侧侧壁上,所述的维修板的另一端与连接槽内的另一侧侧壁之间设置有密封橡胶垫,所述的维修板开设有与观察窗安装架相匹配的安装槽,所述的观察窗体通过观察窗安装架连接在安装槽内。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域,具体的涉及一种用于单晶炉的观察窗。

背景技术

单晶炉是晶棒制作的载体,观察视窗虽然只是单晶炉的小小配件,但其作用却是重中之重。通过观察视窗可以直观的查看单晶生长变化,及时作出调整,确保单晶稳定生长。现有技术中的单晶炉观察窗,采用双层玻璃结构,其表面温度高达 1400 摄氏度,在单晶硅的制造过程中,操作人员在进行观察操作时,常常被观察窗烫伤,给单晶硅的制造过程造成了安全隐患,给操作人员带来了很大的不便。

发明内容

本发明把观察窗体安装在维修板上,在通过观察窗体发现炉体内发生问题后,可以通过打开维修板直接进行维护,起到了提高其实用性能的作用;提供一种用于单晶炉的观察窗。

为解决上述的技术问题,本发明提供了一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:包括安装框架、维修板、观察窗安装架和观察窗体,所述的安装框架安装在单晶炉炉体上,所述的单晶炉炉体上设置有定位柱,所述的安装框架的四个各开设有一个导向孔,所述的定位柱穿过导向孔并通过螺母对安装框架进行固定,所述的安装框架上开设有用于安装维修板的连接槽,所述的维修板的一端转动连接在连接槽内的一侧侧壁上,所述的维修板的另一端与连接槽内的另一侧侧壁之间设置有密封橡胶垫,所述的维修板开设有与观察窗安装架相匹配的安装槽,所述的观察窗体通过观察窗安装架连接在安装槽内,所述的观察窗安装架的四周开设有连接孔,所述的安装槽内的底部相对于连接孔的位置开设有螺纹孔,所述的观察窗安装架通过螺栓固定连接在安装槽内,所述的螺栓穿过连接孔连接在螺纹孔内。

进一步:所述的连接槽内的一侧侧壁上设置有连接座,所述的连接座内转动连接有转轴,所述的转轴的一端穿过安装框架与伺服电机相连,所述的维修板的一端连接在转轴上并随着转轴一同转动。

又进一步:所述的维修板的另一端呈弧形状,所述的密封橡胶垫与维修板连接的一侧也呈弧面状。

又进一步:所述的安装框架上通过螺杆连接有限位板,所述的限位板的一端转动连接在螺杆,通过转动限位板使限位板的另一端伸至维修板的正上方,所述的限位板上方的螺杆上连接有夹紧螺母,所述的限位板通过夹紧螺母与安装框架固定连接。

又进一步:所述的安装槽与观察窗安装架之间设置有弹性定位机构,所述的弹性定位机构包括开设在观察窗安装架外壁上的半球形卡槽、开设在安装槽内壁上的凹槽、球形卡头和弹簧,所述的球形卡头通过弹簧连接在凹槽内,所述的球形卡头在弹簧的作用下卡入半球形卡槽内。

再进一步:所述的定位柱上螺纹柱体和下定位柱体上下连接所组成,所述的下定位柱体的外径尺寸与导向孔的尺寸相匹配,所述的上螺纹柱体的上端穿过导向孔,所述的螺母连接在上螺纹柱体上。

采用上述结构后,本发明把观察窗体安装在维修板上,在通过观察窗体发现炉体内发生问题后,可以通过打开维修板直接进行维护,起到了提高其实用性能的作用;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明的结构示意图。

图2为定位柱的结构示意图。

图3为橡胶密封垫的连接示意图。

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