[发明专利]一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置

说明书

本发明涉及晶圆生产制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果；其使用后的化学溶液可以进行收集储存处理，降低使用局限性；包括过渡箱、底板、顶板、左支撑板、右支撑板、左弧形板、右弧形板、左放置板、右放置板、前支撑轴、后支撑轴、带动轴、上支撑轴、左卡板、右卡板、左安装板、右安装板、两组左安装螺栓、两组右安装螺栓、收集箱、两组左滑轮、两组右滑轮、左滑轨、右滑轨、固定环、左销杆、右销杆、固定座、左弹簧和右弹簧。

技术领域

本发明涉及晶圆生产制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置。

背景技术

众所周知，晶圆在生产完成后，其表面附着大约2um的三氧化二铝和甘油混合液保护层,在制作前必须进行化学刻蚀，晶圆生产用表面化学刻蚀装置是一种用于晶圆，对其表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层，通过化学溶液进行喷射，以便于使其表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层进行溶解的辅助装置，其在晶圆生产制造的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆生产用表面化学刻蚀装置包括过渡箱、底板、顶板、左支撑板和右支撑板，左支撑板和右支撑板的底端分别与底板顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板和右支撑板的顶端分别与顶板帝都的左侧和右侧连接，过渡箱的顶端与顶板的底端连接，并且过渡箱的左端与左支撑板的右端上侧连接，过渡箱的右端与右支撑板的左端上侧连接，过渡箱的顶端连通设置有输送管，并且输送管上连通设置有增压泵，增压泵的底端与顶板的顶端左侧连接，过渡箱底端横向连通设置有多组出液通孔，并且多组出液通孔的底部输出端均连通设置有出液喷嘴，所述左支撑板和右支撑板的之间横向设置有放置网板；现有的晶圆生产用表面化学刻蚀装置使用时，首先将输送管的与外部化学溶液进行连通，然后将待化学刻蚀的多组晶圆放置在放置网板上，通过增压泵将化学溶液打进至过渡箱内部，并且经过多组出液喷嘴喷射在多组晶圆表面进行化学刻蚀即可；现有的晶圆生产用表面化学刻蚀装置使用中发现，多组晶圆直接放置在放置网板上，使多组晶圆放置杂乱，相互叠放，导致化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中，化学溶液与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层接触反应不充分，导致其化学刻蚀不均匀，化学刻蚀效果较差，使用可靠性较低；并且其使用后的化学溶液直接排放，容易污染环境，不能进行收集储存处理，导致其使用局限性较高。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果，提高使用可靠性；并且其使用后的化学溶液可以进行收集储存处理，防止直接排出至外界，减少污染环境，降低使用局限性的晶圆生产用表面化学刻蚀装置。