[发明专利]衍射光学元件检测方法与系统

权利要求书

1.一种衍射光学元件检测系统，其特征在于，包括：

光源，用于发射光束；

透镜，用于汇聚所述光源发射的光束并投射平行光束，在标定时直接投射到检测器上，在测定时投射到DOE上；

DOE，接收、分束所述平行光束，并投射衍射光束；

检测器，在标定时接收所述透镜投射的平行光束；在测定时，接收所述DOE投射的衍射光束；

控制处理器，与光源及检测器连接，用于控制光源发射光束以及检测器采集光束，同时接收来自检测器采集的光束图像并对光束图像进行处理以检测DOE的性能。

2.如权利要求1所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，

所述检测器包括透射屏和相机，所述透射屏设置于所述DOE与所述相机之间，所述光源、透镜、DOE与所述相机在同一轴线上；

或

所述检测器包括反射屏和相机，所述光源、透镜、DOE在同一轴线上，并与所述相机设置在所述反射屏的同侧。

3.如权利要求1所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述检测器为图像传感器，所述光源、透镜、DOE与所述图像传感器在同一轴线上。

4.如权利要求1所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，测定时所述检测器采集所述DOE投射的全场衍射光束图像和/或局部衍射光束图像；所述控制处理器根据所述全场衍射光束图像进行斑点数量、衍射效率、对比度、FOV旋转值、光强分布的检测，根据所述局部衍射光束图像进行零级光斑功率、各个衍射级的光强分布的检测。

5.如权利要求4所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，

所述控制处理器分别对标定时获取的平行光束图像以及测定时获取的全场衍射光束图像进行像素值的提取，并将全场衍射光束图像的像素值与平行光束图像的像素值的比值作为衍射效率。

6.如权利要求4所述的衍射光学元件检测系统，其特征在于，所述控制处理器对标定时获取的平行光束图像进行像素值的提取，并将平行光束的光功率值与像素值的比值作为标定比值；另对测定时获取的零级衍射光束图像进行识别以及像素值的提取；最后将零级衍射光束图像的像素值与标定比值的乘积作为零级光斑的功率。

7.一种衍射光学元件检测方法，其特征在于，包括：

标定阶段：光源发射光束经由透镜汇聚并投射平行光束至检测器，控制处理器接收来自检测器采集的平行光束图像；

测定阶段：光源发射光束经由透镜汇聚并投射平行光束至DOE，DOE接收、分束所述平行光束并投射衍射光束至检测器，控制处理器接收来自检测器采集的衍射光束图像；

性能检测阶段：控制处理器接收来自检测器采集的平行光束图像和衍射光束图像并进行处理以检测DOE的性能。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述检测器为图像传感器，所述光源、透镜、DOE与所述图像传感器在同一轴线上。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，测定阶段检测器采集所述DOE投射的全场衍射光束图像和/或局部衍射光束图像；控制处理器根据所述全场衍射光束图像进行斑点数量、衍射效率、对比度、FOV旋转值、光强分布的检测，根据所述局部衍射光束图像进行零级光斑功率、各个衍射级的光强分布的检测。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，

控制处理器分别对标定时获取的平行光束图像以及测定时获取的全场衍射光束图像进行像素值的提取，并将全场衍射光束图像的像素值与平行光束图像的像素值的比值作为衍射效率；

控制处理器对标定时获取的平行光束图像进行像素值的提取，并将平行光束的光功率值与像素值的比值作为标定比值；另对测定时获取的零级衍射光束图像进行识别以及像素值的提取；最后将零级衍射光束图像的像素值与标定比值的乘积作为零级光斑的功率。