[发明专利]硅衬底、太阳能电池片及其形成方法、印刷网版在审
申请号: | 201811210081.2 | 申请日: | 2018-10-17 |
公开(公告)号: | CN110459616A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 张子森;王伟;董建文;李吉;吕加先;盛健 | 申请(专利权)人: | 协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司;张家港协鑫集成科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L23/544;H01L31/042;B41F15/08;B41F15/36 |
代理公司: | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 201406上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 丝网印刷 硅衬底 太阳能电池片 光电转换效率 标记形状 掺杂区域 金属栅线 两次印刷 误差影响 印刷网版 总误差 减小 | ||
本发明涉及一种硅衬底、太阳能电池片及其形成方法、印刷网版。该硅衬底的一个表面具有掺杂区域;所述表面上至少具有若干个第一标记和若干个与所述第一标记形状不同的第二标记。当对该硅衬底进行二次丝网印刷时,第一次丝网印刷可以以第一标记为准进行定位;第二次丝网印刷可以以第二标记为准进行定位,从而避免了第一次丝网印刷的误差影响第二次丝网印刷,减小了两次印刷后的金属栅线的总误差。进而提升了太阳能电池片的光电转换效率。
技术领域
本发明涉及太阳能电池,特别是涉及硅衬底、太阳能电池片及其形成方法、印刷网版。
背景技术
太阳能发电是一种新型的可再生能源。太阳能电池是太阳能发电系统中的核心部分,其质量和成本将直接决定整个系统的质量和成本。
传统的太阳能电池制造,通常采用二次丝网印刷技术两次印刷金属栅线,从而提高太阳能电池的光电转换率。
发明人在实现传统技术的过程中发现:传统技术中存在丝网印刷机器的校准对位不精准的问题,影响太阳能电池的光电转换效率。
发明内容
基于此,有必要针对传统技术中丝网印刷机器的校准对位不精准的问题,提供一种利于丝网印刷机器校准对位的硅衬底、太阳能电池片及其形成方法、印刷网版。
一种硅衬底,用于太阳能电池片,所述硅衬底的一个表面具有掺杂区域;所述表面上至少具有若干个第一标记和若干个与所述第一标记形状不同的第二标记。
上述硅衬底,其表面具有若干个第一标记和与第一标记形状不同的第二标记。当对该硅衬底进行二次丝网印刷时,第一次丝网印刷可以以第一标记为准进行定位;第二次丝网印刷可以以第二标记为准进行定位,从而避免了第一次丝网印刷的误差影响第二次丝网印刷,减小了两次印刷后的金属栅线的总误差。进而提升了太阳能电池片的光电转换效率。
在其中一个实施例中,所述第一标记和所述第二标记的形状包括圆形和十字形。
在其中一个实施例中,所述圆形标记的直径范围为0.1mm到0.5mm。
在其中一个实施例中,所述十字形标记包括相互垂直交叉的第一延伸部和第二延伸部,所述第一延伸部和所述第二延伸部的宽度范围为0.05mm到0.2mm;所述第一延伸部和所述第二延伸部的长度范围为0.05mm到1mm。
一种太阳能电池片,包括上述任意一个实施例中所述的硅衬底,所述硅衬底上具有主栅及与所述主栅垂直的细栅,所述细栅的延伸方向与所述掺杂区域的延伸方向相同,且所述细栅中至少部分所述细栅与所述掺杂区域重合。
该太阳能电池片,印刷主栅时可以通过第一标记进行定位印刷,印刷细栅时可以通过第二标记进行定位印刷。从而避免印刷主栅时的误差对印刷细栅造成影响,进而提升细栅与掺杂区域的结合率,提升太阳能电池片的光电转换效率。
一种印刷网版,与上述任意一个实施例中所述的硅衬底相匹配,所述印刷网版包括第一网版和第二网版;所述第一网版开设有多条主栅孔和第一对准孔;所述第一对准孔与所述第一标记相匹配;所述第二网版开设有多条细栅孔和第二对准孔;所述第二对准孔与所述第二标记相匹配。
上述印刷网版,印刷主栅的第一网版与印刷细栅的第二网版具有不同的对准孔,从而避免印刷主栅时的误差对印刷细栅造成影响。
一种太阳能电池片的形成方法,包括:在形成有掺杂区域的硅衬底上形成第一标记和与所述第一标记形状不同的第二标记;以所述第一标记为定位,在所述硅衬底上形成主栅;以所述第二标记为定位,在所述硅衬底上形成与所述主栅垂直的细栅。
上述太阳能电池片的形成方法,印刷主栅时通过第一标记进行定位印刷,印刷细栅时通过第二标记进行定位印刷。从而避免印刷主栅时的误差对印刷细栅造成影响,进而提升细栅与掺杂区域的结合率,提升太阳能电池片的光电转换效率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的