[发明专利]一种涂层

权利要求书

1.一种涂层，所述涂层包括打底层、功能层、表面覆盖层，其特征在于，所述打底层与功能层之间还设置了成分过渡层，所述成分过渡层为成分梯度层，所述成分梯度层同时包含Ti、Al、Si、N四种元素，其中Al含量随着距基材表面的距离增大而逐渐减小，Si含量随着距基材表面的距离增大而逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述打底层的化学组成为Ti_(1-x)Al_xN，x≤0.67或者x≤0.50，其中，x表示仅考虑金属元素时Al元素的原子百分比。

3.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述功能层的化学组成为Ti_pAl_qSi_dN，其中，p+q+d＝1，p、q和d为仅考虑对应平衡元素Ti、Al和Si元素的原子百分比，0.30≤q≤0.50，0.02≤d≤0.10；或者0.35≤q≤0.45，0.03≤d≤0.06。

4.根据权利要求3所述的涂层，其特征在于，所述功能层(200)的取向择优系数大于等于1，由以(200)晶面择优生长的立方结构氮化钛组成，在择优取向(200)晶面上的晶粒度范围为5～20nm。

5.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述表面覆盖层的化学组成为Ti_aAl_bSi_cN，其中a+b+c＝1，a、b和c为仅考虑对应平衡元素Ti、Al和Si元素的原子百分比；其中b≤0.67，c≤0.15；或者a＝0.9，b＝0，c＝0.1；或者a＝0.5，b＝0.5，c＝0。

6.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述打底层、成分过渡层、功能层、表面覆盖层的总厚度为0.1～5μm；及/或，所述打底层、功能层的厚度分别占涂层总厚度的15～20％、55～65％，所述成分过渡层的厚度占功能层厚度的30～40％。

7.一种涂层工具，其特征在于，所述涂层工具包括一基材及如权利要求1-6所述的涂层，所述涂层形成于所述基材上，形成所述涂层工具。

8.一种加工权利要求1所述涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一经过表面处理的基材；

于所述基材上形成所述打底层；

于所述打底层上形成所述成分过渡层；

于所述成分过渡层上形成所述功能层；

于所述功能层上形成所述表面覆盖层。