[发明专利]采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器

权利要求书

1.一种采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，包括利用薄壁刃口相对焊接的定电极单端悬浮结构体和动电极单端悬浮结构体，动电极单端悬浮结构体包括带引压口支座、上夹持环、夹持焊接固支于带引压口支座和上夹持环之间的动电极，带引压口支座的上表面设有对应动电极的抛物凹面A和位于抛物凹面A外周的环形固支平面A，上夹持环的下表面设有与抛物凹面A边缘相对的抛物凹面B和位于抛物凹面B外周的环形固支平面B，上夹持环的上端为不受约束自由端，其特征在于：所述定电极单端悬浮结构体采用装配式定电极结构，其包括定电极装配式悬浮外壳、支撑于定电极装配式悬浮外壳内的由恒弹性绝缘材料制作的定电极绝缘体、弹性定位器、焊接于定电极装配式悬浮外壳顶部的端盖、设于端盖底面与定电极绝缘体顶面之间的三波压簧、焊接于端盖上的封接有柱状电极的玻璃绝缘子，所述定电极绝缘体的下端为不受约束自由端且底面设有与抛物凹面A中部相对的抛物凹面C，且抛物凹面C上设有导电膜层，所述导电膜层上设有绝缘膜层，所述导电膜层依次通过定电极绝缘体内设置的金属化管状电极、定电极绝缘体顶面的欧姆接触膜和锥形弹簧与柱状电极导通，所述定电极装配式悬浮外壳的底面边缘和带引压口支座的顶面边缘分别设有薄壁刃口，二者的薄壁刃口对接焊接在一起形成薄壁刃口焊口，所述定电极装配式悬浮外壳、端盖、三波压簧分别采用与定电极绝缘体热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制成且表面镀金。

2.根据权利要求1所述的采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，其特征在于：所述定、动电极单端悬浮结构体的热膨胀系数相差一倍。

3.根据权利要求1所述的采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，其特征在于：所述动电极采用恒弹性合金制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极，所述上夹持环和带引压口支座分别采用与动电极相同的恒弹性合金材料制作而成，热膨胀系数相同，表面镀金。

4.根据权利要求1所述的采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，其特征在于：所述定电极装配式悬浮外壳和端盖分别设有相互对接的薄壁刃口结构。

5.根据权利要求1所述的采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，其特征在于：所述动电极被夹持封装在环形固支平面A和环形固支平面B之间，所述带引压口支座和上夹持环的对接刃口处经过焊接形成动电极刃口焊口，所述薄壁刃口焊口与动电极刃口焊口位于同一平面内，所述定电极装配式悬浮外壳底部对应薄壁刃口焊口与动电极刃口焊口之间的位置设有连体屏蔽环，所述带引压口支座的上表面设有对应连体屏蔽环的悬浮环槽，连体屏蔽环悬浮于其中。

6.根据权利要求1所述的采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，其特征在于：所述定电极绝缘体中心设有用于形成金属化管状电极的中心孔，所述欧姆接触膜位于中心孔顶端外周呈环形，所述锥形弹簧一端与玻璃绝缘子的柱状电极内端焊接，另一端顶靠在欧姆接触膜上，弹性连接欧姆接触膜与柱状电极，将电容变化的电信号输出。

7.根据权利要求1所述的采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，其特征在于： 所述端盖上焊接有与定电极装配式悬浮外壳内部相通的背压引管，用作表压测量时的大气压引入口；或用作绝对压力测量时，与吸气剂室相连，并分出抽真空管口，边抽真空边高温激活吸气剂，抽至高真空状态，而后封闭抽真空管口。

8.根据权利要求1所述的采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，其特征在于：所述玻璃绝缘子利用含钴玻璃将柱状电极熔封在绝缘子不锈钢外壳中，所述绝缘子不锈钢外壳的热膨胀系数与端盖相同，所述含钴玻璃的热膨胀系数小于绝缘子不锈钢外壳，大于柱状电极，当含钴玻璃在高温下熔融封接了柱状电极于绝缘子不锈钢外壳中后，在含钴玻璃的熔点以下时，绝缘子不锈钢外壳压紧含钴玻璃，含钴玻璃压紧柱状电极，实现压封密封结构，所述绝缘子不锈钢外壳与柱状电极表面镀金。