[发明专利]一种高频电源的校正系统

说明书

本发明公开了一种高频电源的校正系统，包括高频电源、自动校正模块、高频功率产生源以及除杂转低模块，所述高频电源与所述自动校正模块和所述高频功率产生源分别连接，所述高频功率产生源与所述除杂转低模块连接；本发明的自动校正模块包括电力输出控制单元，给自动校正模块输入由电力值检测单元检测出的电力检测值，根据电力检测值与电力设定值的差值求取实际偏移值，然后电力输出控制单元根据实际偏移值和电力设定值调整目标电力输出值，使输入阻抗匹配器的高频电力的值成为电力设定值的方式，调整从高频电源的电力输出端子输出的高频电力，大幅缩短电源校正所需的时间，增加校正的准确性。

技术领域

本发明涉及高频电源领域，尤其涉及一种高频电源的校正系统。

背景技术

在现有的半导体器件的制造工艺中，使用在较低压的气氛内生成高密度的等离子体，并在半导体晶片(以下简称为“晶片”)上进行蚀刻处理、成膜处理的等离子处理装置。例如，平行平板等离子处理装置在处理室内配置有一对平行平板电极(上部电极和下部电极)，在将处理气体导入该处理室内的同时，从高频电源向电极的一方或两方供给高频，在电极间生成高频电场，通过该高频电场生成处理气体的等离子体，从而对晶片进行蚀刻等规定的处理。

在这种等离子处理装置中，为了得到良好的处理结果，有必要在处理中将施加在上述电极上的高频电力的值维持在规定的值，使在处理室内产生的等离子保持稳定。但是，例如在运行多个等离子处理装置等的情况下，即使安装于各处理装置的高频电源的输出电力的值恒定，但因为从高频电源到处理室内的电极的高频电力的传送路径所消耗的损失电力在各个装置中不同，所以施加于其电极的实际高频电力的值并不一定恒定不变。实际上从高频电源输出的高频电力在到达处理室内的电极的过程中，其传送中的高频电力的衰减特性并不相同

此外，在现有的具备检波电路的高频电源中，若作为入射波的等离子体生成用高频功率与偏压用高频功率地频率差变大，则反射波中包含的高频率成分的频率与调制波成分等的频率差会变小，不能由LC电路构成的带通滤波器充分衰减调制波成分等，结果，有可能会将调制波成分等视为反射波，高频电源引起误操作。

另外，若不能充分衰减调制波成分等，则难以在等离子体生成时施加适当的高频功率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高频电源的校正系统，该系统可弥补现有的高频电源校正方式或系统的不足。

为实现上述目的，本发明的目的在于提供一种高频电源的校正系统，包括高频电源、自动校正模块、高频功率产生源以及除杂转低模块，所述高频电源与所述自动校正模块和所述高频功率产生源分别连接，所述高频功率产生源与所述除杂转低模块连接；所述高频电源、所述自动校正模块、所述高频功率产生源以及所述除杂转低模块均与等离子处理机连接。

作为优化，所述高频电源包括：数据输入端、电力输出端、调整单元以及电力值检测单元，其中，

所述数据输入端负责将高频电力的电力设定值和用于校正输出电力的偏移值作为数字数据输入；

所述电力输出端负责输出所述高频电力；

所述调整单元根据所述电力设定值与所述偏移值调整目标电力输出值后，从所述电力输出端输出与所述目标电力输出值相应的高频电力；

所述电力值检测单元安装于同轴电缆与阻抗匹配器的连接位置，所述电力值检测单元对输入所述阻抗匹配器的高频电力的值进行检测。

作为优化，所述自动校正模块还包括电力输出控制单元，给所述自动校正模块输入由所述电力值检测单元检测出的电力检测值，所述自动校正模块根据所述电力检测值与所述电力设定值的差值求取实际偏移值，然后所述电力输出控制单元根据所述实际偏移值和所述电力设定值调整目标电力输出值，由此，以使输入所述阻抗匹配器的高频电力的值成为所述电力设定值的方式，调整从所述高频电源的电力输出端子输出的高频电力。