[发明专利]MEMS型全方位地震检波器有效
| 申请号： | 201811213908.5 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109283573B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 刘华强 | 申请（专利权）人： | 西安明天仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01V1/18 | 分类号： | G01V1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710012 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 全方位 地震 检波器 | ||
1.一种全方位MEMS地震检波器，包括：正放置MEMS芯片(1)，反放置MEMS芯片(2)，电阻分压器(3)，差分放大器A(4)，差分放大器B(5)，差分放大器C(6)，加法器(7)，其特征在于：正放置MEMS芯片(1)与反放置MEMS芯片(2)的X轴输出信号同时进入差分放大器A(4)；正放置MEMS芯片(1)与反放置MEMS芯片(2)的Y轴输出信号同时进入差分放大器B(5)；正放置MEMS芯片(1)与反放置MEMS芯片(2)的Z轴输出信号经过电阻分压器(3)调整进入差分放大器C(6)；差分放大器A(4)和差分放大器B(5)以及差分放大器C(6)的输出进入加法器(7)，加法器(7)的输出接入输出端(8)完成正反放置MEMS芯片信号合成。
2.如权利要求1所述的一种全方位MEMS地震检波器，其特征在于：利用三轴MEMS芯片在垂直轴方向朝上和朝下放置时，输出信号幅值相同，相位正好相差180°，只是方向朝上表达1G的加速度值，朝下表达负1G的重力加速度值，正负1G值在输出电压上有差值，因此要用电阻分压方式调到差值很小，有利于差分放大，其它两轴轴出幅值相同，相位相反，直接进差分放大器，差分放大后的信号经过加法器合成后由输出端输出电压，输出的信号比单独的垂直轴(Z轴)信号大很多，而噪声经过差分放大却被抑制了许多，实现了提高信噪比的作用，避免三轴同时输出占用三个采集通道。
3.如权利要求1所述的一种全方位MEMS地震检波器，其特征在于：其利用两个三轴MEMS芯片，正反对称安装，将正反芯片的三轴信号合成为一个输出，提高信噪比，避免三轴同时输出占用三个采集通道。
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