[发明专利]一种新型多晶硅生产预热方法及其装置

权利要求书

1.一种新型多晶硅生产预热方法，其特征在于：包括以下步骤：

A、将硅芯的两端分别连接于底盘的两电极上，并密闭还原炉；

B、向还原炉内通入保护气对还原炉内的空气进行置换；

C、启动微波发生器对硅芯进行微波照射；

D、启动电加热电源，并检测电加热电源的电压和电流；

E、根据步骤D测得的电压和电流测算硅芯的电阻率和硅芯温度，直至电阻率低于或硅芯温度高于时，关闭微波发生器，通过电加热电源对硅芯继续加热到反应温度。

2.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅生产预热方法，其特征在于：所述还原炉内充满氮气或氢气作为保护气。

3.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅生产预热方法，其特征在于：所述步骤C中电加热电源的电压为0.3kV -3kV。

4.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅生产预热方法，其特征在于：所述步骤C和步骤D中的微波照射与电加热之间的时间间隔为0～60min。

5.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅生产预热方法，其特征在于：所述步骤C的微波功率为0.2-200kW。

6.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅生产预热方法，其特征在于：所述步骤E中的取值范围为0.1-1.0Ω·cm，所述硅芯温度的取值范围为300～600℃。

7.一种新型多晶硅生产预热用还原炉，包括相互连接的底盘（1）和炉罩（2），所述底盘（1）上设置有电极（3），且所述电极（3）穿过底盘（1）插入到炉罩（2）内，其特征在于：还包括微波发生器（4），所述炉罩（2）或底盘（1）上设置有微波馈口（5），所述微波发生器（4）与微波馈口（5）相连；所述电极（3）与电加热电源（6）相连。

8.根据权利要求7所述的一种新型多晶硅生产预热用还原炉，其特征在于：所述电加热电源（6）内设置有用于检测硅芯两端电压和硅芯通过电流的电压检测装置（7）、电流检测装置（8）。

9.根据权利要求7所述的一种新型多晶硅生产预热用还原炉，其特征在于：所述微波发生器（4）和炉罩（2）之间还设置有微波传输器件（9），所述微波传输器件（9）内设置有封气挡板（10），所述封气挡板（10）采用石英玻璃、刚玉、蓝宝石玻璃或氧化锆陶瓷等透波材料制作。

10.根据权利要求7所述的一种新型多晶硅生产预热用还原炉，其特征在于：所述底盘（1）上设置有进气口（11）和排气口（12）。