[发明专利]一种装片固化测试方法在审
申请号: | 201811216213.2 | 申请日: | 2018-10-18 |
公开(公告)号: | CN111081569A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 徐志华;张彦 | 申请(专利权)人: | 江阴苏阳电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固化 测试 方法 | ||
1.一种装片固化测试方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、对初步装片完成的芯片进行固化;
步骤2、将固化完成的芯片连同承载座,移至推力测试台上;
步骤3、将承载座固定在测试台面上,调整推力测试探头,对准芯片的长边面中心,偏离固定剂结合处,与芯片本体相接触,所述先目视判断芯片长边面2侧的固化剂爬坡高度h,选择中心部位爬坡高度h较低的一侧作为所述推力测试探头接触面;
步骤4、启动推力测试仪,均匀加载推力,直至芯片剥离,记录最大推力值。
2.根据权利1所述的一种装片固化测试方法,其特征在于,上述步骤4中,记录到的最大推力值,与标准值进行比较:
(1)导电胶/绝缘胶产品:
a.对于面积1mm2的芯片,最大推力值需大于10N;
b.对于面积≤1mm2的芯片,最大推力值需大于4N;
(2)铅锡焊料产品:
a.对于面积1mm2的芯片,最大推力值需大于50N;
b.对于面积≤1mm2的芯片,最大推力值需大于10N;
对于符合上述要求的产品,判断为合格品,正常流转;对于不符合上述要求的产品,判断为不合格品,需要重新检查装片工艺。
3.根据权利1所述的一种装片固化测试方法,其特征在于,上述步骤4中,针对不同的产品,采用不同的推力加载速度:
(1)导电胶/绝缘胶产品:
a.对于面积1mm2的芯片,推力加载速度为1N/s;
b.对于面积≤1mm2的芯片,推力加载速度为0.4N/s;
(2)铅锡焊料产品:
a.对于面积1mm2的芯片,推力加载速度为5N/s;
b.对于面积≤1mm2的芯片,推力加载速度为1N/s。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造