[发明专利]氧化钨-氧化亚铜异质结光电极材料的制备方法及其产品和应用在审
申请号: | 201811217061.8 | 申请日: | 2018-10-18 |
公开(公告)号: | CN109225247A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 何丹农;卢静;涂兴龙;葛美英;白仕亨;李砚瑞;金彩虹 | 申请(专利权)人: | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
主分类号: | B01J23/888 | 分类号: | B01J23/888;B01J35/02 |
代理公司: | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人: | 董梅 |
地址: | 201109 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化钨 氧化亚铜 光电极材料 异质结 制备 应用 光电化学性能 氧化亚铜薄膜 有效降低能耗 溶液酸碱度 磁控反应 工作气体 化学试剂 可重复性 用水热法 原位生长 制备工艺 光电流 两步法 溅射 铜靶 异质 氧气 生长 生产 | ||
1.一种氧化钨-氧化亚铜异质结光电极材料的制备方法,其特征在于,分两步制备,采用水热法,在FTO上原位生成氧化钨;然后,通过磁控反应溅射在氧化钨上沉积一定厚度的氧化亚铜薄膜,从而构建异质结,包括如下步骤:
(1)FTO玻璃的预处理及清洁:丙酮和异丙醇依次超声后用酒精和去离子水冲洗干净,氮气枪吹干备用;
(2)原位生长氧化钨薄膜,按质量比1:(9-12)称取草酸钾和钨酸钠,溶于去离子水,磁力搅拌至完全溶解,加入适量酸溶液调控其酸碱度,和步骤(1)中干燥后的FTO玻璃一起放入四氟乙烯内胆的反应釜中,在120-180ºC条件下反应完成后,自然冷却取出用去离子水和酒精冲洗干净后烘干样品;
(3)将步骤(2)中的烘干后的样品放入磁控溅射腔,在氩气与氧气的比例为3:1-5:1的氩气、氧气共存的条件下,用铜靶反应溅射氧化亚铜薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法, 其特征在于步骤(2)中,草酸钾的质量浓度控制在1.08 mmol。
3.根据权利要求1所述的制备方法, 其特征在于步骤(2)中磁力搅拌的速度为800r/min-1200 r/min。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于步骤(2)所述的酸溶液为盐酸、草酸、柠檬酸溶液;控制氢离子的物质量浓度在0.275-0.40M。
5.根据权利要求1所述的制备方法, 其特征在于步骤(2)中反应时间为18-24小时;干燥温度为40-60ºC。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于步骤(3)中的磁控溅射的本底真空度要求为10-5Pa数量级;工作气体为氩气与氧气的混合气体,气压为3-4Pa;。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于步骤(3)中的溅射铜靶的功率为20-25W;氧化亚铜薄膜的厚度为10-15nm。
8.一种氧化钨-氧化亚铜异质结光电极材料,其特征在于根据权利要求1-8任一所述方法制备得到。
9.一种根据权利要求8所述氧化钨-氧化亚铜异质结光电极材料在光催化中的应用。
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