[发明专利]光栅制备在线监测方法及系统

权利要求书

1.一种光栅制备在线监测方法，其特征在于，包括以下步骤：

将一个扫描周期内采集的等间距光栅阵列数据组成j·i矩阵该矩阵的行代表波长步进，列代表采样点，j为波长步进总个数，i为所有采样点个数；

对j·i矩阵逐列进行寻峰，峰值个数不为0，则峰值处即为反射光强最大的位置，认为此处有光栅存在，其余位置则认为无光栅存在，寻峰后获得所有m个光栅的空间位置信息，根据m个光栅的空间位置信息，将等间距光栅阵列数据矩阵中对应位置的m列数据取出，获得m个j×1数组，组成j·m矩阵数组每列分别代表了m个光栅在频域中的信息；

将j·m矩阵的每一列数据进行累加，得到一个新的1×m的矩阵[n₁ n₂…n_m]，其中n_i＝[λ_1-i λ_2-i…λ_j-i]^Ti∈[k,k+m-1]，对于每一个n_i，依次比较λ_1-i～λ_j-i，得到每一列的最大值为[x₁ x₂…x_i]；假设扫描光源起始波长设置为λ₀，则待测光栅波长为[λ₁ λ₂…λ_i]，其中λ_i＝λ₀+x_i/1000；

对所有待测光栅波长取加权平均值得到平均波长值为进一步得到待测光栅波长与平均波长差值为[Δλ₁ Δλ₂…Δλ_i]；

将该波长差值逐次与标准差值Δ比较，若波长差值大于标准差值，则该光栅波长异常。

2.根据权利要求1所述的光栅制备在线监测方法，其特征在于，该方法还包括光栅旁瓣判断的步骤：

对于寻峰得到的m个光栅的采样数据将每一列数据以二维图像的形式表示出来，得到光栅反射回来的波形图，对于每一个光谱数据，对j个数据点进行循环遍历，记录下大于交点阈值线的第一个数据点的横坐标a与最后一个数据点的横坐标b，并记录下大于交点阈值数据点的总个数n，若：

a)若a、b均为0，则交点个数为0；

b)若b-a+1＝n，则交点个数为2；

c)若b-a+1n，则交点个数为4。

3.根据权利要求1所述的光栅制备在线监测方法，其特征在于，该方法还包括光谱强度异常判断的步骤：

对于寻峰得到的m个光栅的采样数据对其逐列依次查找最大值，得到一个新的代表光栅反射光谱强度的1×m数组

[P₁ P₂…P_m]

其中P_i＝max(λ_i-1,λ_i-2,…λ_i-m)，i∈(1,m)，将有效光栅光谱强依次与光谱强度阈值P比较，若光栅光谱强度小于光谱强度阈值，则该光栅异常。

4.根据权利要求1所述的光栅制备在线监测方法，其特征在于，该方法还包括光谱底宽异常判断的步骤：

对于寻峰得到的m个光栅的采样数据对每一列有效光谱数据进行遍历，逐次与预设基准值相比较，找出大于预设基准值的数据点的起始位置a和最后一个位置b，则该光栅光谱的底宽为(b-a)*波长步进，然后将光栅光谱的底宽与底宽阈值Δ进行比较判断，如果实际底宽大于底宽阈值，则该光栅异常。