[发明专利]一种压电驱动双面螺旋相位反射镜及其电激励方法

权利要求书

1.一种压电驱动双面螺旋相位反射镜，其特征在于，它包括：反射镜片(2)、压电陶瓷(1)、柔性支撑材料(3)、电源接头(5)和印刷电路板(4)；

电源接头(5)通过电源线(6)与压电陶瓷(1)正面上的电极相连；反射镜片(2)粘结在压电陶瓷(1)的反面，压电陶瓷(1)的反面朝上；

电源接头(5)安装在印刷电路板(4)上，与印刷电路板(4)相连；压电陶瓷(1)的正面与印刷电路板(4)之间安装有柔性支撑材料(3)；

所述压电陶瓷(1)的正面均匀分布具有螺旋线形状的十指交叉电极，所述螺旋线为等角螺旋线，螺旋线具有变宽度和变间距的特点；所述压电陶瓷(1)的反面的电极与正面的电极结构尺寸相同，但是螺旋方向与正面电极呈反向对称，且反面的螺旋线为等角螺旋线，螺旋线具有变宽度和变间距的特点。

2.根据权利要求1所述的压电驱动双面螺旋相位反射镜，其特征在于：螺旋线具有的宽度变化范围为80微米～450微米，对应的间距变化范围为200微米～750微米；螺旋线宽度和间距的比值范围为0.4～0.6，最佳比值为0.45～0.55之间。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动双面螺旋相位反射镜，其特征在于：压电陶瓷(1)为近似圆环形结构，该圆环具有一个缺口。

4.根据权利要求4所述的压电驱动双面螺旋相位反射镜，其特征在于：所述反射镜片(2)与压电陶瓷(1)的外形和尺寸完全相同，并粘结在压电陶瓷(1)的反面。

5.根据权利要求5所述的压电驱动双面螺旋相位反射镜，其特征在于：所述的柔性支撑材料为聚酯类柔性橡胶材料。

6.根据权利要求3所述的压电驱动双面螺旋相位反射镜，其特征在于，通过改变螺旋线十指交叉电极的激励电压，能够改变压电陶瓷(1)螺旋变形的大小。

7.一种压电驱动双面螺旋相位反射镜的电激励方法，其特征在于，在压电陶瓷的双面设计等角螺旋线形状的类十指交叉电极，对十指交叉电极同时施加0～200V的直流电压时，使压电陶瓷能够实现螺旋形状的静变形，从而改变激励电压的大小，实现螺旋变形大小的调节，从而使螺旋相位反射镜能够调制出具有不同拓扑载荷的涡旋光束。