[发明专利]用于飞行时间质谱仪的金属镀层氧化铝陶瓷电极片

权利要求书

1.一种用于飞行时间质谱仪的电极片，其特征在于，所述电极片包括氧化铝陶瓷和金属镀层；所述金属镀层涂覆于氧化铝陶瓷表面和侧沿；所述氧化铝陶瓷为95氧化铝陶瓷或99氧化铝陶瓷；所述95氧化铝陶瓷和99氧化铝陶瓷是指氧化铝的质量百分含量为95％和99％。

2.根据权利要求1所述的电极片，其特征在于：所述金属镀层的涂覆方式为分层涂覆，自下而上依次包括钼、锰、铜和镍层。

3.根据权利要求1所述的电极片，其特征在于，所述金属镀层为金、银、铜、钯、钼、镍、锰中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的电极片，其特征在于，所述金属镀层为金、银、铜、钯、钼、镍、锰的合金中的一种。

5.根据权利要求1至4任一项所述的电极片，其特征在于，所述电极片的厚度为0.5～2mm；所述电极片平整度优于0.02mm。

6.根据权利要求1至5任一项所述的电极片，其特征在于，所述电极片上设有离子通道、接线柱和固定孔；所述离子通道设于电极片中心，所述接线柱设于电极片的侧面，所述固定孔设于离子通道周边区域。

7.根据权利要求6所述的电极片，其特征在于：所述电极片外形为回字形、圆形或椭圆形。

8.一种离子反射镜装置，其特征在于：包括权利要求1至7所述的电极片，还包括安装底板、支撑柱、接线器件和绝缘垫片；

所述支撑柱固定于安装底板上，所述绝缘垫片设置在所述支撑柱上，在所述绝缘垫片上设置电极片，交替设置绝缘垫片和电极片，相邻电极片由绝缘垫片隔开；所述接线器件设于接线柱内，用于连接电源或者电阻。

9.根据权利要求8所述的离子反射镜装置，其特征在于：所述相邻电极片之间轴向间距与绝缘垫片厚度相同；所述绝缘垫片厚度为0.98mm～1.02mm。

10.根据权利要求9所述的离子反射镜装置，其特征在于，所述安装底板材质为304不锈钢。