[发明专利]柔性阵列基板及其制备方法、显示面板有效
申请号: | 201811224724.9 | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN109449165B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 王品凡;张帅;陈善韬;田宏伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
本公开提供了一种柔性阵列基板及其制备方法、显示面板,属于显示面板技术领域。该柔性阵列基板包括柔性衬底基板、第一绝缘层、第一源/漏层引线、沟槽和填充层;第一绝缘层设于所述柔性衬底基板的一侧;第一源/漏层引线设于所述第一绝缘层远离所述柔性衬底基板的一侧,且沿第一方向设置;沟槽数量为多个且设于所述第一绝缘层,并且沿所述第一方向延伸;所述沟槽与所述第一源/漏层引线间隔设置;填充层数量为多个且一一对应地设于所述沟槽内,所述填充层的材料是绝缘材料且所述填充层的柔性大于所述第一绝缘层的柔性。该柔性阵列基板弯折时的拉应力或压应力小,金属引线的可靠性高。
技术领域
本公开涉及显示面板技术领域,尤其涉及一种柔性阵列基板及其制备方法、显示面板。
背景技术
柔性显示面板由于其可弯曲、具有柔韧性等优点,应用场景越来越广阔。柔性显示面板一般包括至少一个可弯折区,并能够在可弯折区内沿弯折方向进行弯折。
然而,当柔性显示面板弯折时,可弯折区将承受较大的应变。由于可弯折区内的无机绝缘层抗拉能力小,因此在柔性显示面板发生大曲率弯折时,该无机绝缘层可能因承受的拉应变超过其承受范围而发生损坏,进而导致设置在无机绝缘层上的金属引线损坏或可靠度变差。
所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种柔性阵列基板及其制备方法、显示面板,降低柔性阵列基板弯折时的拉应力或压应力,提高金属引线的可靠性。
为实现上述发明目的,本公开采用如下技术方案:
根据本公开的第一个方面,提供一种柔性阵列基板,包括:
柔性衬底基板;
第一绝缘层,设于所述柔性衬底基板的一侧;
第一源/漏层引线,设于所述第一绝缘层远离所述柔性衬底基板的一侧,且沿第一方向设置;
沟槽,数量为多个且设于所述第一绝缘层,并且沿所述第一方向延伸;所述沟槽与所述第一源/漏层引线间隔设置;
填充层,数量为多个且一一对应地设于所述沟槽内,所述填充层的材料是绝缘材料且所述填充层的柔性大于所述第一绝缘层的柔性。
在本公开的一种示例性实施例中,所述柔性阵列基板还包括:
金属膜,设于所述沟槽,且位于所述填充层与所述第一绝缘层之间。
在本公开的一种示例性实施例中,所述柔性阵列基板还包括:
平坦化层,设于所述第一无机绝缘层远离所述柔性衬底基板的一侧;所述填充层与所述平坦化层连接且材料相同。
在本公开的一种示例性实施例中,所述柔性阵列基板还包括:
栅极层引线,设于所述第一无机绝缘层内;
所述沟槽包括:
第一沟槽,所述第一沟槽与所述栅极层引线相互隔离。
在本公开的一种示例性实施例中,所述柔性阵列基板还包括:
栅极层引线,设于所述第一无机绝缘层内;
所述沟槽包括:
第二沟槽,所述第二沟槽暴露至少部分所述栅极层引线。
在本公开的一种示例性实施例中,所述柔性阵列基板还包括:
金属膜,设于所述第二沟槽且位于所述填充层与所述第一无机绝缘层之间;所述金属膜与所述栅极层引线绝缘设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的