[发明专利]一种钛基钽涂层生物植入物材料的制备方法

权利要求书

1.一种钛基钽涂层生物植入物材料的制备方法，其利用化学气相沉积方法在钛基基体表面沉积钽金属而形成钽涂层，该制备方法包括如下步骤：

(1)对钛基基体进行喷砂处理，形成一粗糙面，用无水酒精清洗后用氮气吹干，置入气相沉积反应室内，将钽金属置于反应室前端；

(2)反应室内首先通入惰性气体，吹扫反应室10～20min，然后抽真空至200～250Pa条件下，将反应室加热至900～1000℃，通入氯气和氢气，进行气相沉积反应，气相沉积时间为7～10h，气相沉积反应温度为900～1000℃；

(3)反应结束后，关闭氢气及氯气，连接冷却装置，在惰性气体保护下降温，降温至200℃以下；

在步骤(1)中，所述的喷砂处理的步骤为：利用直径在100～150μm的白刚玉粉体进行喷砂，喷砂压力为0.3～0.5MPa，喷砂时间为3～5min；

在步骤(2)中所述的氯气的流量为80～120mL/min；

在步骤(2)中所述的氢气的流量为150～200mL/min；

所述制备方法制备得到的钽涂层钛基生物植入物材料的钽涂层的厚度为10～20μm，钽涂层与钛基基体的结合力为40～70Mpa；

所述钛基基体为非多孔结构。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤(2)和(3)中所述的惰性气体为氩气或氮气中的一种或两种的混合。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中所述的钽金属的纯度为99.99％～99.999％。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中所述的钛基基体为钛金属基体或钛合金基体。