[发明专利]一种微细电火花线切割装置

说明书

本发明中公开了一种微细电火花线切割装置，包括走丝机构、进给平台、组合夹具机构和基座，所述的基座包括底座和隔振平台，所述的走丝机构设置在进给平台上，所述进给平台设置在隔振平台上，所述组合夹具机构设置在PI紧密进给平台进料一侧，所述组合夹具固定在隔振平台上。本发明设置有高精度的和多自由度的进给机构，来实现微型加工件的高精度和多复杂加工，同时该装置设置有隔振绝缘平台极大的避免的外界环境中振动、温度等都会导致加工异常问题。

技术领域

本发明涉及机械切割设备制造领域，特备涉及一种微细电火花线切割装置。

背景技术

近年来，受产品精密化、微小化和功能化得影响，微小尺寸零件和微结构的产品市场需求大幅增长。当前全球市场规模约为120亿美元，有望在2020年达到近200亿美元，整体来说MEMS市场仍处于起步阶段，大量的MEMS系统仍具备广阔的市场潜力。产品微型化风潮也带动了诸多产业的蓬勃发展，如半导体行业和通讯电子领域。这些产品不仅功能日益完善，而且体积也越来越小，例如作为通信行业的代表，智能手机在其基本的通讯功能基础上，同时还增加了娱乐、购物以及时下最流行的手机支付功能等。在医疗器械领域，微泵的开发，用于人工心脏，成为维持生命的利器，以方便医护人员进行唤心脏手术，或者用于需要微量控制滴液的医治场合，如糖尿病患者；胶囊内镜的研发，可用于拍照检查人类身体内部的消化系统。在汽车行业，用于汽车防撞和节油的微机电系统加速度表和微传感器，可提高汽车的安全性，节油10％；而用于安全气囊上，用于测量冲击力的大小，决定是否开启安全气囊；在日常驾驶车辆的轮胎内，通常装备了微压力传感器，实时测量胎压，使人们可以避免两边胎压不平衡，或者避免因胎压过高或过低而多费油料。在航空航天方面，飞机上装备了微型速度传感器，以判断助跑速度是否符合起飞的条件，而飞机机翼表面则装置了数以千计的微致动器，用来探测通过机翼表面的气流、温度和压力，以便微调制动器的变位量，使层流变成涡流，而获得低风阻的表面以节省油料，降低噪音。微小型元件和结构在现代工业中有着越来越广泛的应用，随着科技发展，人们对这些元件和结构的要求越来越高，从而对微细加工装置提出了更高的挑战。尤其是在对复杂结构和高精度的微型工件加工时，现有的切割装置很难满足其加工需求，在加工过程中还经常出现环境干扰问题，特此开发了一种微细电火花线切割装置。

发明内容

本发明的目的在于解决上述技术中出现的问题，提供一种微细电火花线切割装置，该装置设置有高精度的和多自由度的进给机构，来实现微型加工件的高精度和多复杂加工，同时该装置设置有隔振绝缘平台极大的避免的外界环境中振动、温度等都会导致加工异常问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

一种微细电火花线切割装置，包括走丝机构、进给平台、组合夹具机构和基座，所述的基座包括底座和隔振平台，所述的走丝机构设置在进给平台上，所述进给平台设置在隔振平台上，所述组合夹具机构设置在PI紧密进给平台进料一侧，所述组合夹具固定在隔振平台上。

进一步的，作为优选的技术方案，所述的进给平台分为粗对刀平台、精密进给平台和立柱，所述立柱固定在隔振平台上，所述的粗对刀平台利用滑动装置设置在立柱上，所述精密进给平台设置在粗对刀平台上。

进一步的，作为优选的技术方案，所述的精密进给平台包括X轴高精密直线位移进给平台、Y轴高精密直线位移进给平台和Z轴高精密直线位移进给平台，所述X轴高精密直线位移进给平台和Y轴高精密直线位移进给平台相互垂直地设置在水平面上，所述Z轴高精密直线位移进给平台设置在垂直方向。

进一步的，作为优选的技术方案，所述的走丝机构连接有水槽。

进一步的，作为优选的技术方案，所述的进给平台还连接有控制器和驱动装置，用于控制和驱动进给平台。

本发明所具有的有益效果：