[发明专利]一种基板承载装置

权利要求书

1.一种基板承载装置，包括承载台（2），其特征在于，所述基板承载装置还包括：

多个定位机构（3），设置于所述承载台（2）的周边；所述定位机构（3）包含第一定位组件与第二定位组件；所述第一定位组件与所述第二定位组件滑动连接，且所述第一定位组件可沿第一方向伸长或收缩第一长度，所述第二定位组件可沿所述第一方向伸长或收缩第二长度。

2.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述第一定位组件包含第一滑轨（32）、第一连接板（34）以及第一驱动机构，所述第一驱动机构连接所述第一连接板（34），用以驱动所述第一连接板（34）在所述第一滑轨（32）上沿所述第一方向伸长或收缩。

3.如权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，所述第二定位组件包含第二滑轨（36）、第二连接板（35）以及第二驱动机构，所述第二驱动机构连接所述第二连接板（35），用以驱动所述第二连接板（35）在所述第二滑轨（36）上沿所述第一方向伸长或收缩。

4.如权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，所述第一驱动机构与所述第二驱动机构为气缸或电机。

5.如权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，所述第一连接板（34）上设置有滑块（341），所述第一滑轨（32）上对应设置限位块（321），且所述滑块（341）与所述限位块（321）的其中之一上设置有缓冲件（322）。

6.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构（3）还包含第一靠位件（38），所述第一靠位件（38）设置于所述第二定位组件上，用以抵靠待承载基板。

7.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置还包含靠位组件（4），所述靠位组件（4）设置于所述承载台（2）的一个侧边，所述多个定位机构（3）设置于所述承载台（2）的其余侧边。

8.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构（3）还包含第三定位组件滑动连接所述第一定位组件或所述第二定位组件，所述第三定位组件可沿所述第一方向伸长或收缩第三长度。

9.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述承载台（2）包含边框（21）和多个支撑条（22），每个所述支撑条（22）的两端分别与相对的两个边框（21）连接，所述支撑条（22）上设置有多个吸附件（221），用于待承载基板的支撑。

10.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构（3）还包含锁固件（31），所述承载台（2）的周边设置有多个结合件（23），所述定位机构（3）通过所述锁固件（31）可拆卸地连接于所述结合件（23）。