[发明专利]一种电镀液过滤装置、冲洗方法和系统

权利要求书

1.一种电镀液过滤装置，其特征在于，所述过滤装置包括：过滤筒、滤芯、加压泵、泵出口管、滤前电镀液进液管、滤后电镀液出液管、排液管和去离子水进液管；所述加压泵与所述滤前电镀液进液管连接；所述过滤筒通过所述泵出口管与所述加压泵连接；所述滤芯位于所述过滤筒内；所述排液管位于所述过滤筒的底端一侧位置；所述滤后电镀液出液管位于所述过滤筒底部中央位置；所述泵出口管和所述滤后电镀液出液管之间含有一个连通阀；所述去离子水进液管与所述加压泵连接；所述泵出口管、所述滤前电镀液进液管、所述滤后电镀液出液管、所述排液管和所述去离子水进液管在各管道上均有一个对应的阀门。

2.根据权利要求1所述的电镀液过滤装置，其特征在于，所述过滤筒的顶端位置设有通气管。

3.根据权利要求1所述的电镀液过滤装置，其特征在于，所述滤筒的顶端位置设有压力表。

4.根据权利要求1所述的电镀液过滤装置，其特征在于，所述滤芯的数量为N个。

5.根据权利要求4所述的电镀液过滤装置，其特征在于，各所述滤芯包括过滤介质和滤芯架，所述滤芯架通过弹簧固定于所述过滤筒内部，所述过滤介质均匀包裹在所述滤芯架上。

6.根据权利要求1所述的电镀液过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括集液管，所述集液管位于各所述滤芯架的底端位置，各所述集液管分别与所述滤后电镀液出液管连接。

7.一种电镀液过滤装置的冲洗方法，其特征在于，所述冲洗方法包括：

获取过滤筒内的压力值或过滤次数；

判断所述压力值是否大于设定压力阈值或者所述过滤次数是否大于设定过滤次数；

若是，则关闭泵出口阀、滤前电镀液阀和滤后电镀液阀，打开排液阀卸出过滤筒内的液体；

启动加压泵，打开离子水进液管阀门，冲洗过滤筒内的颗粒物，所述颗粒物经所述排液阀流出；

若否，则继续过滤电镀液。

8.一种电镀液过滤装置的冲洗系统，其特征在于，所述冲洗系统包括：

获取模块，用于获取过滤筒内的压力值或过滤次数；

判断模块，用于判断所述压力值是否大于设定压力阈值或者所述过滤次数是否大于设定过滤次数；

排液模块，用于若所述压力值大于设定压力阈值或者所述过滤次数大于设定过滤次数时，关闭泵出口阀、滤前电镀液阀和滤后电镀液阀，打开排液阀卸出过滤筒内的液体；

冲洗模块，用于启动加压泵，打开离子水进液管阀门，冲洗过滤筒内的颗粒物，所述颗粒物经所述排液阀流出；

过滤模块，用于若所述压力值小于或等于设定压力阈值或者所述过滤次数小于或等于设定过滤次数时，继续过滤电镀液。