[发明专利]一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法

权利要求书

1.一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法，其特征在于：包括以下步骤：

按照与印刷图案1:1的比例确定光刻专版定位纸上光刻图案的外形大小；

将光刻图案向外扩边X1，扩边X1的大小由光刻专版定位纸预估的变形量的大小确定；

在扩边X1的基础上再次扩边X2，再次扩边的距离X2是为后期做边缘淡化时预留的处理距离；

对预留的扩边X2进行渐变处理；

对渐变部分进行栅格化处理，使光刻图案分解成一个主图案加上若干个边缘碎片图案组成；对栅格化处理后的光刻图案进行光刻，形成母版，再在母版表面利用化学方法喷镀上一层银表面，使表面的感光层导电，然后将母版置于电铸槽内，将银表面作为阴极在其上面铸上一层镍，然后将镍层与母版分离，清洗掉表面的残余感光层，即形成了含有光刻图案信息的金属镍母版，使用这一块金属镍母版铸出更多的复制母版，使用复制母版在组版机上根据设计的版面位置拼制成定位专版，利用热膜压原理制成塑料全息母版，重复上述电铸过程获得最终可上模压机使用的模压工作版；采用模压工作版按工艺流程模压出定位膜，进而制造出专版定位纸；所述的X2等于X1。

2.根据权利要求1所述的一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法，其特征在于：所述渐变处理，设置内部100％渐变到外部0％。

3.根据权利要求1所述的一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法，其特征在于：所述栅格化处理，采用调幅加网方式，并选用圆形网点。

4.根据权利要求3所述的一种淡化光刻图案边缘痕迹的方法，其特征在于：所述加网线数根据光刻机的光刻分辨率进行选择。