[发明专利]用于光学元件在线表面洁净处理的装置

说明书

本发明公开了一种用于光学元件在线表面洁净处理的装置，包括：水平运动机构，其包括导轨单元、水平滑块、水平丝杆、以及伺服电机；竖直伸缩机构，其包括竖直连接在水平滑块上的支撑块和连接在支撑块上的可伸缩机械臂；洁净处理机构，其包括连接在可伸缩机械臂顶端的水平支撑臂、连接在水平支撑臂末端的擦拭机构、连接在水平支撑臂上的无尘布传送机构、以及连接在支撑块上的无尘布收集机构；其中，无尘布传送机构上的无尘布绕过擦拭机构后收集在无尘布收集机构上；酒精擦拭辅助机构，其包括酒精壶和与酒精壶连通的抽送泵，抽送泵的输出端通过导管连接至擦拭机构。该装置可用于对光学元件的表面进行在线洁净处理，操作简单便捷。

技术领域

本发明属于光学元件洁净处理领域，具体涉及一种用于光学元件在线表面洁净处理的装置。

背景技术

高功率激光装置中包括400多个大口径光学元件，除了部分安装在密封的真空箱体内部，其余大部分透镜和反射镜以及承载这些光学元件的金属框架都暴露在光传输管道内洁净空气中。尽管光传输管道内部的所有光学元件和机械元件都经过在百级(每平方米内粒径大于或者等于0.5μm的粒子数不超过1000个)环境中清洗、装校和运行，光传输管道内部的环境在静态情况下也可以达到百级，但是经过打靶后，光传输管道内部的环境会出现突然恶化的情况。内部工作的光学元件经过长期使用后，表面沉积大量的污染物，表面洁净度急剧劣化，并且发现由表面污染导致的光学元件的损伤。因此，要提高光学元件在运行过程中的负载能力，必须要保持光学元件表面的洁净度。目前在运行维护过程中通过是通过开箱检查和人工擦拭的方式保持反射镜表面洁净的，但是人为作业也带来了二次污染的风险，同时，此项耗时耗力的工作并不能实现反射镜表面状态的实时处理，其对于反射镜日常洁净维护并不是一个好的选择。所以设计一套用于光学元件表面在线洁净处理的装置成为目前光学元件表面洁净处理急需解决的问题之一。

发明内容

本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，提供了一种用于光学元件在线表面洁净处理的装置，包括：

水平运动机构，其包括导轨单元、滑动连接在导轨单元内的水平滑块、贯穿水平滑块且与水平滑块螺纹转动连接的水平丝杆、以及与水平丝杆连接的伺服电机；

竖直伸缩机构，其包括竖直连接在水平滑块上的支撑块和连接在支撑块上的可伸缩机械臂；

洁净处理机构，其包括连接在可伸缩机械臂顶端的水平支撑臂、连接在水平支撑臂末端的用于擦拭光学元件的擦拭机构、连接在水平支撑臂上的无尘布传送机构、以及连接在支撑块上的无尘布收集机构；其中，无尘布传送机构上的无尘布绕过擦拭机构后收集在无尘布收集机构上；

酒精擦拭辅助机构，其包括酒精壶和与酒精壶连通的抽送泵，所述抽送泵的输出端通过导管连接至擦拭机构。

优选的是，所述导轨单元为顶面敞开的箱体结构；水平滑块设置在箱体结构内，且所述水平滑块的底部设置有辅助滑行轮，所述水平滑块的侧面与箱体结构的侧壁留有一定间隙；所述箱体结构的底部设置有供辅助滑行轮滑动的滑行轨道；所述水平丝杆贯穿水平滑块后转动连接在箱体结构的内壁上；且所述伺服电机位于箱体结构的外部。

优选的是，所述可伸缩机械臂为电动伸缩杆、气缸、机械伸缩杆、伺服电动缸中的任意一种。

优选的是，所述擦拭机构包括：固定在水平支撑臂末端的U型支架和安装在U型支架上的圆柱体擦拭轮，所述圆柱体擦拭轮的表面沿轴向设置有酒精注入缝；所述抽送泵的输出端通过导管连接至圆柱体擦拭轮的酒精注入缝。

优选的是，所述的无尘布传送机构包括：输送电机、连接在输送电机的电机轴上的无尘布缠绕轴、以及连接在无尘布缠绕轴上夹持无尘布的两块轮盘。

优选的是，所述的无尘布收集机构包括：收纳电机和连接在收纳电机的电机轴上的脏无尘布缠绕轴。