[发明专利]基于压电-磁各向异性耦合结构的电场测量MEMS传感装置有效
| 申请号： | 201811243901.8 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109212329B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何金良;薛芬;胡军;杨钧清;王善祥;韩志飞;余占清;曾嵘 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08 |
| 代理公司： | 天津市尚仪知识产权代理事务所(普通合伙) 12217 | 代理人： | 高正方 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 压电 各向异性 耦合 结构 电场 测量 mems 传感 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于压电-磁各向异性耦合结构的电场测量MEMS传感装置，其特征在于，包括压电材料(2)，所述压电材料(2)底面粘附底部金属(1)，顶面粘附铁磁薄膜(3)，所述铁磁薄膜(3)的数量为四个，四个铁磁薄膜(3)由四个金属电极连接围成具有电气连通的矩形结构，所述矩形结构的一对对角上安装一对金属电极源极(4)，另一对对角上分别安装金属电极感应极(5)和金属电极公共极(6)，两个金属电极源极(4)通过电桥与电源(7)连接，所述金属电极感应极(5)与金属电极公共极(6)与后端数据处理电路(8)电气连接。
2.根据权利要求1中所述的基于压电-磁各向异性耦合结构的电场测量MEMS传感装置，其特征在于，四个所述铁磁薄膜(3)分别为四个电阻，分别表示为电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4。
3.根据权利要求1中所述的基于压电-磁各向异性耦合结构的电场测量MEMS传感装置，其特征在于，所述的两个金属电极源极(4)、所述金属电极感应极(5)、所述金属电极公共极(6)分别为惠斯通桥的四个电极，所述的两个金属电极源极(4)作为器件的直流电源供电端；所述金属电极感应极(5)、金属电极公共极(6)，两端口电势差作为器件的输出信号，后端数据处理电路接入感应极与公共极，实现器件传感信号的采集与处理。
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