[发明专利]氧化铝膜制备装置

权利要求书

1.氧化铝膜制备装置，包括设置有炉门(1)的真空沉积室(2)，真空沉积室(2)内设有石墨舟(3)，硅片放置于石墨舟(3)上，真空沉积室(2)上设有进气口(4)与排气口(5)，所述真空沉积室(2)内设置有进气主管(6)和排气主管(7)，所述进气主管(6)水平设置在石墨舟(3)上方，所述进气主管(6)与进气口(4)连通，所述进气口(4)上连接有用于通入制程气体的进气装置(8)，所述排气主管(7)水平设置在石墨舟(3)下方，所述排气主管(7)与排气口(5)连通，所述排气口(5)上连接有真空泵(9)，真空泵(9)的进口与排气口(5)连通，真空泵(9)的出口连接有尾排管(10)，其特征在于：所述进气装置(8)包括一氧化二氮导气管(801)、氩气导气管(802)、三甲基铝导液管(803)，所述一氧化二氮导气管(801)末端与进气口(4)连通，所述一氧化二氮导气管(801)上设置有一氧化二氮气体流量计(804)，所述三甲基铝导液管(803)的末端连接有蒸发器(805)，所述三甲基铝导液管(803)上设置有三甲基铝液体流量计(806)，所述氩气导气管(802)与蒸发器(805)连通，所述氩气导气管(802)上设置有氩气气体流量计(807)，所述蒸发器(805)的出口与进气口(4)连通。

2.如权利要求1所述的氧化铝膜制备装置，其特征在于：所述进气装置(8)与进气口(4)之间设置有气体混合装置(11)，所述气体混合装置(11)包括一级气体混合装置(11)和二级气体混合装置(11)，所述一级气体混合装置(11)包括锥形筒体(1101)、汇流管(1102)以及密闭的柱状壳体(1103)，所述柱状壳体(1103)的左端面中心开设有导气孔(1104)，所述导气孔(1104)分别与蒸发器(805)的出口、一氧化二氮导气管(801)连通，所述柱状壳体(1103)内设置有圆形的固定板(1105)，所述固定板(1105)的一侧表面正对导气孔(1104)，且导气孔(1104)的中心对准固定板(1105)的中心，所述固定板(1105)朝向导气孔(1104)的一侧表面设置有扰流板(1106)，所述扰流板(1106)与固定板(1105)表面的夹角小于九十度，且扰流板(1106)向导气孔(1104)方向倾斜，所述扰流板(1106)表面开设有多个通气孔(1107)，所述锥形筒体(1101)的大径端固定在柱状壳体(1103)的右端面上且锥形筒体(1101)的大径端与柱状壳体(1103)内部连通，所述锥形筒体(1101)的小径端与汇流管(1102)的左端固定相连且二者互相连通，所述汇流管(1102)的右端连接有二级气体混合装置(11)，所述二级气体混合装置(11)包括气体压缩机(1108)，所述气体压缩机(1108)的进口与汇流管(1102)的右端连通，所述气体压缩机(1108)的出口连接有气体喷嘴(1109)，所述气体喷嘴(1109)上连接有锥形的降压管(1110)，所述降压管(1110)的小径端与气体喷嘴(1109)相连，所述降压管(1110)的大径端与进气口(4)连通。

3.如权利要求2所述的氧化铝膜制备装置，其特征在于：所述气体混合装置(11)与进气口(4)之间设置有预热装置(12)，所述预热装置(12)包括保温箱体(1201)，所述保温箱体(1201)内设置有换热管(1202)，所述换热管(1202)的左端伸出保温箱体(1201)并且与降压管(1110)的大径端连通，所述换热管(1202)的右端伸出保温箱体(1201)与进气口(4)连通，所述保温箱体(1201)的右端连接有导气管A(1203)，所述导气管A(1203)的末端与真空泵(9)的出口连通，所述保温箱体(1201)的左端连接有导气管B(1204)，所述导气管B(1204)的末端与尾排管(10)的入口连通。

4.如权利要求3所述的氧化铝膜制备装置，其特征在于：所述换热管(1202)为盘管。