[发明专利]一种橡胶密封件表面减摩及储油膜层的制备方法

权利要求书

1.一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，包括以下步骤：

⑴制备基底材料：

将橡胶弹性体与固化剂按10：1的重量比混合后，浇铸在母板模具上并在70℃下烘烤1h，然后将该橡胶弹性体从所述母板模具上剥离，此时，在所述母板模具中固化形成均匀的微凹坑阵列，即得基底材料；

⑵将所述基底材料依次经洗涤剂溶液、100℃蒸馏水超声波震荡清洗5次，每次15min，干燥，即得处理后的基底材料；所述洗涤剂溶液是指体积浓度为95%的酒精与蒸馏水按1:10的体积比混合而得的溶液；

⑶所述处理后的基底材料冷却至室温后装入真空腔中，然后将所述真空腔抽真空至1.0× 10^-2 Pa；

⑷向所述真空腔中通入流量300sccm的净化空气，然后利用高功率脉冲离子源进行空气等离子体轰击；

⑸向所述真空腔中通入纯度均为99.99%的Ar、H₂、CH₄气体，利用高功率脉冲离子源进行离化沉积，即可在橡胶表面凹坑底部、侧部处得到凹凸起伏且分割式类金刚石薄膜，待所述真空腔内温度冷却至室温后取出即可。

2.如权利要求1所述的一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，其特征在于：所述步骤⑴中的橡胶弹性体是指丁腈橡胶、乙丙橡胶、氟橡胶、硅橡胶中的任意一种，其表面光洁度Ra＜500nm、表面无过多的杂质颗粒物质。

3.如权利要求1所述的一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，其特征在于：所述步骤⑴中的固化剂是指硫黄。

4.如权利要求1所述的一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，其特征在于：所述步骤⑵中的干燥条件是指温度为80~90℃，时间为20~30min。

5.如权利要求1所述的一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，其特征在于：所述步骤⑶中的真空腔抽真空是指真空腔先用机械泵将真空抽至200Pa，然后打开罗茨泵将真空抽至2 Pa，最后打开分子泵将真空抽至1.0×10^-2 Pa。

6.如权利要求1所述的一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，其特征在于：所述步骤⑷中的空气等离子体轰击的条件是指真空腔腔内气压为5~6Pa，脉冲偏压为900V，占空比为50~60%，频率为60~70KHz，腔内温度逐步升高至120℃，轰击时间为20min。

7.如权利要求1所述的一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，其特征在于：所述步骤⑸中的Ar、H₂、CH₄的流量分别为15sccm、10sccm、5sccm。

8.如权利要求1所述的一种具有表面减摩及储油膜层的橡胶密封件的制备方法，其特征在于：所述步骤⑸中的高功率脉冲离子源离化沉积的条件是指沉积薄膜气体压强为20Pa，高功率脉冲偏压为600V，占空比为40~50%，频率为40~50KHz，沉积时间为120min，沉积温度恒定在80℃。