[发明专利]一种吡喃衍生物的用途及其制备方法有效
申请号: | 201811251306.9 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN109136935B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 辛格 | 申请(专利权)人: | 西南石油大学 |
主分类号: | C23F11/04 | 分类号: | C23F11/04;C07D311/74 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 夏艳 |
地址: | 610500 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 衍生物 用途 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种吡喃衍生物的用途,其特征在于,该吡喃衍生物作为缓蚀剂,具有如式(1)所示的结构:
式(1)中,R包含:烷基、烷氧基、硝基或H;
R1和R2各自独立地包含:甲基或乙基。
2.根据权利要求1所述的吡喃衍生物的用途,其特征在于,所述R包含:甲基、乙基、甲氧基或H。
3.根据权利要求1所述的吡喃衍生物的用途,其特征在于,所述的R1和R2均为甲基。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的吡喃衍生物的用途,其特征在于,所述的吡喃衍生物作为N80的缓蚀剂。
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