[发明专利]一种用于加速度计表芯测试的装置及方法

说明书

本发明公开了一种用于加速度计表芯测试的装置，包括加速度计测试台体、表芯夹紧结构。所述表芯夹紧结构通过安装螺钉固定于加速度计测试台体上，所述加速度计测试台体固定于分度头及温箱转台测试装置上。所述表芯夹紧结构包括三角法兰、悬臂结构，其中：所述三角法兰近似为三角形结构，形成支撑加速度计表芯的平面。所述悬臂结构通过圆弧过渡与三角法兰一体，包括两个悬臂、通孔、螺纹孔；两个悬臂利用拧紧螺钉通过螺纹旋紧。本发明还提供了一种加速度计表芯测试方法。本发明可实现表芯阶段性能筛选，筛选不合格的表芯可进行返修或做其他处理。避免了装配成加速度计成品后，不合格品的报废，提高了装配成品率，降低了成本。

技术领域

本发明属于加速度计表芯技术领域，具体涉及一种加速度计表芯测试装置 及方法。

背景技术

石英挠性加速度计主要是利用力反馈原理获得一个与输入加速度成比例的 电流，通过对电流的采样获得输入加速度信息。石英挠性加速度计结构组成包 括电路部分和机械结构部分。二者其中机械结构部分组成较为复杂，成本更高， 最核心的组件为表芯结构，是由上下力矩器、摆组件、腹带装配而成。表芯通 过结构胶安装固定于壳体内部形成整个机械结构部分，机械结构部分与电路结 构相连形成整个加速度计产品。

随着加速度计应用领域的不断扩展，在宽温域范围的使用越来越多，越来 越多用户提出全温温度特性的测试要求。通常，全温温度特性测试过程是在加 速度计整表装配完成后进行，通过测试进行加速度计产品性能指标的筛选。然 而，当加速度计装配成为成品后，不能拆卸，无法返修。因此经筛选温度特性 不合格的产品，只能做报废处理，增加了生产成本。

发明内容

本发明需解决技术问题是提供一种可实现加速度计表芯测试的装置，且易 于加速度计表芯的拆卸。本发明还需提供一种基于加速度计表芯测试装置的测 试方法，可实现对加速度计表芯全温温度特性的测试。

为解决上述技术问题，本发明提供的一种用于加速度计表芯测试的装置， 采取技术方案如下：

一种用于加速度计表芯测试的装置，包括加速度计测试台体、表芯夹紧结 构。

所述表芯夹紧结构通过安装螺钉固定于加速度计测试台体上，所述加速度 计测试台体固定于分度头及温箱转台测试装置上。

所述表芯夹紧结构包括三角法兰、悬臂结构，其中：

所述三角法兰近似为三角形结构，包括凸台结构。所述凸台结构为若干个， 均匀分布于与加速度计测试台体相接触的面上。

所述悬臂结构通过圆弧过渡与三角法兰一体，包括通孔、螺纹孔以及两个 悬臂；所述通孔、螺纹孔分别设置于两个悬臂相对应的位置上，所述通孔结构 为直径略大于螺纹孔直径的光孔，两个悬臂通过拧紧螺钉利用螺纹旋紧。

进一步，所述加速度计测试台体为长方体结构，上面设置有6个加速度计 表芯安装孔，每个安装孔内设置有表芯夹紧结构。

进一步，包括三个定位孔结构，所述三个定位孔均为通孔结构，分别与表 芯夹紧结构上三个凸台结构相对应，通过安装螺钉贯穿其中，可将表芯夹紧结 构固定于加速度计测试台体上。

进一步，所述表芯夹紧结构上的凸台结构为长方形凸起结构，多个凸台结 构构成的平面，其平面度在0.03mm。

进一步，所述表芯夹紧结构上的悬臂为长方体结构。

一种基于所述用于加速度计表芯测试装置的加速度计表芯测试方法：将温 箱温度设置为-40℃、-20℃、0℃、20℃、40℃、60℃几个点，每个温度点保温 1-4个小时，各温度点保温过程中，将加速度计表芯4采用四点翻滚的方式进行 模型方程系数测试，进而得到各温度点下加速度计偏值、标度因数值，通过对 比各温度点加速度计偏值、标度因数的变化量，进行温度性能的筛选，筛选出 合格的表芯。

本发明有益效果为：